[實用新型]一種高溫氣相沉積爐體結構

有效

• 申請號: 201820292344.8
• 申請日: 2018-03-02
• 公開（公告）號: CN207828405U
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 王玉泉
• 申請（專利權）人: 丹東英普朗特科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

本實用新型公開一種高溫氣相沉積爐體結構，包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不銹鋼環，不銹鋼環下方是套裝結構的兩個纖維環，所述中圈為沿軸向設置的兩個纖維環；所述下圈包括沿軸向設置的兩個纖維環，最下面的纖維環的下方設置不銹鋼圈底，所述不銹鋼圈底內設置巖棉；所述不銹鋼圈底上設置通孔；不銹鋼圈底的下方設置定位套管及調節螺絲組件；所述上圈與中圈間為上壁，所述上壁由兩個纖維環組成；所述中圈與下圈間為下壁，所述下壁由兩個纖維環組成；上圈及下圈間設置螺桿穿套成一整體。本實用新型的優點是：爐體分段設置，并且，根據爐體溫度的要求不同，可相應設置不同的厚度及形狀；更換方便。

技術領域

本實用新型涉及電子技術設備領域，具體說是一種氣相沉積爐。

背景技術

現有的氣相沉積爐的爐體結構有很多種，一般爐體為筒形結構，筒壁由單層耐熱纖維組成，在單層耐熱纖維的外側設置不銹鋼外壁，該結構雖然簡單，但保溫效果不好，尤其是如果某一位置出現破損，需要更換整個爐體，造成極大的損失。

發明內容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種爐體，可有效解決上述技術問題，具體技術方案如下：

一種高溫氣相沉積爐體結構，上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不銹鋼環，不銹鋼環下方是套裝結構的兩個纖維環，所述中圈為沿軸向設置的兩個纖維環；所述下圈包括沿軸向設置的兩個纖維環，最下面的纖維環的下方設置不銹鋼圈底，所述不銹鋼圈底內設置巖棉；所述不銹鋼圈底上設置通孔；不銹鋼圈底的下方設置定位套管及調節螺絲組件；所述上圈與中圈間為上壁，所述上壁由兩個纖維環組成；所述中圈與下圈間為下壁，所述下壁由兩個纖維環組成；上圈及下圈間設置螺桿穿套成一整體。

本實用新型的優點是：爐體分段設置，并且，根據爐體溫度的要求不同，可相應設置不同的厚度及形狀；更換方便。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為調節螺絲組件示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖，具體說明本實用新型，如圖1所示，本實用新型包括包括上圈100、中圈200及下圈300；所述上圈包括不銹鋼環1，不銹鋼環1下方是套裝結構的兩個纖維環2、3，所述中圈為沿軸向設置的兩個纖維環6、7；所述下圈包括沿軸向設置的兩個纖維環10、11，最下面的纖維環11的下方設置不銹鋼圈底15，所述不銹鋼圈底15內設置巖棉13；所述不銹鋼圈底15上設置通孔；不銹鋼圈底15的下方設置定位套管14及調節螺絲組件17；所述上圈100與中圈200間為上壁400，所述上壁400由兩個纖維環4、5組成；所述中圈200與下圈300間為下壁500，所述下壁500由兩個纖維環8、9組成；

上圈及下圈間設置螺桿20、21穿套成一整體。

如圖2所示，調節螺絲組件17包括探管172，所述探管172通過螺母171固定在半陶瓷體173上。