[實用新型]一種高溫氣相沉積爐體結構有效

申請號：	201820292344.8	申請日：	2018-03-02
公開（公告）號：	CN207828405U	公開（公告）日：	2018-09-07
發明（設計）人：	王玉泉	申請（專利權）人：	丹東英普朗特科技有限公司
主分類號：	C23C16/44	分類號：	C23C16/44
代理公司：	沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234	代理人：	俞魯江
地址：	118009 遼寧省丹***	國省代碼：	遼寧;21
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	纖維環不銹鋼圈上圈下圈本實用新型不銹鋼環軸向設置沉積爐高溫氣體結構爐體上壁下壁定位套管分段設置螺桿穿套螺絲組件套裝結構通孔巖棉
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【權利要求書】：

1.一種高溫氣相沉積爐體結構，其特征在于：包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不銹鋼環，不銹鋼環下方是套裝結構的兩個纖維環，所述中圈為沿軸向設置的兩個纖維環；所述下圈包括沿軸向設置的兩個纖維環，最下面的纖維環的下方設置不銹鋼圈底，所述不銹鋼圈底內設置巖棉；所述不銹鋼圈底上設置通孔；不銹鋼圈底的下方設置定位套管及調節螺絲組件；所述上圈與中圈間為上壁，所述上壁由兩個纖維環組成；所述中圈與下圈間為下壁，所述下壁由兩個纖維環組成；上圈及下圈間設置螺桿穿套成一整體。

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