[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820287586.8
• 申請(qǐng)日: 2018-03-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207852616U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鮑家定;周嘉;黃宇星;劉清原;龍芋宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 桂林電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/268
• 分類號(hào): H01L21/268;H01L21/687
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置，包括支撐座，所述支撐座頂部的左端固定連接有第七支撐板，且第七支撐板的頂端固定連接有第六支撐板，第六支撐板的底部固定連接有激光器，所述支撐座頂部的右端固定連接有滑座，且滑座的外表面滑動(dòng)連接有滑動(dòng)器，所述滑動(dòng)器的頂端固定連接有第一支撐板，且第一支撐板左側(cè)的上端固定連接有第一電動(dòng)伸縮桿。本實(shí)用新型在第二支撐板的左側(cè)固定安裝了電機(jī)，并通過(guò)第三支撐板、第二電動(dòng)伸縮桿、第四支撐板和夾座的作用，可滿足人們對(duì)所夾持的晶圓進(jìn)行九十度翻轉(zhuǎn)的需求，解決了現(xiàn)有的激光劃片裝置只能對(duì)晶圓的一個(gè)表面進(jìn)行劃片處理，降低了劃片效率的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的IC產(chǎn)品，晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉、鹽酸氯化、并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，晶圓在加工過(guò)程中，需要對(duì)其進(jìn)行劃片處理，但現(xiàn)有的激光劃片裝置只能對(duì)晶圓的一個(gè)表面進(jìn)行劃片處理，降低了劃片效率，為此，我們提出一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置，具備可提高劃片效率的優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有的激光劃片裝置只能對(duì)晶圓的一個(gè)表面進(jìn)行劃片處理，降低了劃片效率的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置，包括支撐座，所述支撐座頂部的左端固定連接有第七支撐板，且第七支撐板的頂端固定連接有第六支撐板，第六支撐板的底部固定連接有激光器，所述支撐座頂部的右端固定連接有滑座，且滑座的外表面滑動(dòng)連接有滑動(dòng)器，所述滑動(dòng)器的頂端固定連接有第一支撐板，且第一支撐板左側(cè)的上端固定連接有第一電動(dòng)伸縮桿，所述第一電動(dòng)伸縮桿的末端固定連接有第二支撐板，且第二支撐板的左側(cè)固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸固定連接有第三支撐板，第三支撐板的左側(cè)通過(guò)第二電動(dòng)伸縮桿活動(dòng)連接有第四支撐板，且第四支撐板和第三支撐板內(nèi)側(cè)的中端均固定連接有夾座。

優(yōu)選的，所述支撐座底部的四周均固定連接有支撐腿，且支撐腿的底部固定連接有橡膠墊。

優(yōu)選的，所述支撐座正表面的右端固定連接有控制器，且控制器的正表面從左到右依次固定連接有激光器開(kāi)關(guān)、電機(jī)控制按鍵、第一伸縮控制按鍵、第二伸縮控制按鍵和滑動(dòng)控制按鍵。

優(yōu)選的，所述第六支撐板的底部且位于激光器的右側(cè)固定連接有第五支撐板，且第五支撐板的左側(cè)從上到下依次固定連接有擴(kuò)束鏡和聚焦鏡。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果如下：

1、本實(shí)用新型在第二支撐板的左側(cè)固定安裝了電機(jī)，并通過(guò)第三支撐板、第二電動(dòng)伸縮桿、第四支撐板和夾座的作用，可滿足人們對(duì)所夾持的晶圓進(jìn)行九十度翻轉(zhuǎn)的需求，解決了現(xiàn)有的激光劃片裝置只能對(duì)晶圓的一個(gè)表面進(jìn)行劃片處理，降低了劃片效率的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型在滑座的外表面滑動(dòng)連接了滑動(dòng)器，并在第一支撐板左側(cè)的上端固定連接了第一電動(dòng)伸縮桿，可滿足人們對(duì)晶圓不同位置的劃片處理需求，為人們的工作帶來(lái)極大的便利。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型控制器結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型工作原理示意圖。