[實用新型]一種半導體晶圓正反定位的激光劃片裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820287586.8 | 申請日： | 2018-03-01 |
| 公開（公告）號： | CN207852616U | 公開（公告）日： | 2018-09-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鮑家定;周嘉;黃宇星;劉清原;龍芋宏 | 申請（專利權）人： | 桂林電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L21/268 | 分類號： | H01L21/268;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 541004 廣*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 支撐板 激光劃片裝置 支撐座 半導體晶圓 本實用新型 電動伸縮桿 滑動器 滑座 晶圓 滑動連接 劃片效率 上端固定 激光器 九十度 翻轉(zhuǎn) 劃片 夾持 夾座 左端 電機 | ||
1.一種半導體晶圓正反定位的激光劃片裝置，包括支撐座(1)，其特征在于：所述支撐座(1)頂部的左端固定連接有第七支撐板(13)，且第七支撐板(13)的頂端固定連接有第六支撐板(10)，第六支撐板(10)的底部固定連接有激光器(11)，所述支撐座(1)頂部的右端固定連接有滑座(18)，且滑座(18)的外表面滑動連接有滑動器(19)，所述滑動器(19)的頂端固定連接有第一支撐板(3)，且第一支撐板(3)左側(cè)的上端固定連接有第一電動伸縮桿(4)，所述第一電動伸縮桿(4)的末端固定連接有第二支撐板(5)，且第二支撐板(5)的左側(cè)固定安裝有電機(6)，所述電機(6)的輸出軸固定連接有第三支撐板(7)，第三支撐板(7)的左側(cè)通過第二電動伸縮桿(14)活動連接有第四支撐板(16)，且第四支撐板(16)和第三支撐板(7)內(nèi)側(cè)的中端均固定連接有夾座(15)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體晶圓正反定位的激光劃片裝置，其特征在于：所述支撐座(1)底部的四周均固定連接有支撐腿(17)，且支撐腿(17)的底部固定連接有橡膠墊。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體晶圓正反定位的激光劃片裝置，其特征在于：所述支撐座(1)正表面的右端固定連接有控制器(2)，且控制器(2)的正表面從左到右依次固定連接有激光器開關(21)、電機控制按鍵(22)、第一伸縮控制按鍵(23)、第二伸縮控制按鍵(24)和滑動控制按鍵(25)。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體晶圓正反定位的激光劃片裝置，其特征在于：所述第六支撐板(10)的底部且位于激光器(11)的右側(cè)固定連接有第五支撐板(9)，且第五支撐板(9)的左側(cè)從上到下依次固定連接有擴束鏡(12)和聚焦鏡(8)。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
