[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820287586.8
• 申請(qǐng)日: 2018-03-01
• 公開（公告）號(hào): CN207852616U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鮑家定;周嘉;黃宇星;劉清原;龍芋宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 桂林電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/268
• 分類號(hào): H01L21/268;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置，包括支撐座(1)，其特征在于：所述支撐座(1)頂部的左端固定連接有第七支撐板(13)，且第七支撐板(13)的頂端固定連接有第六支撐板(10)，第六支撐板(10)的底部固定連接有激光器(11)，所述支撐座(1)頂部的右端固定連接有滑座(18)，且滑座(18)的外表面滑動(dòng)連接有滑動(dòng)器(19)，所述滑動(dòng)器(19)的頂端固定連接有第一支撐板(3)，且第一支撐板(3)左側(cè)的上端固定連接有第一電動(dòng)伸縮桿(4)，所述第一電動(dòng)伸縮桿(4)的末端固定連接有第二支撐板(5)，且第二支撐板(5)的左側(cè)固定安裝有電機(jī)(6)，所述電機(jī)(6)的輸出軸固定連接有第三支撐板(7)，第三支撐板(7)的左側(cè)通過第二電動(dòng)伸縮桿(14)活動(dòng)連接有第四支撐板(16)，且第四支撐板(16)和第三支撐板(7)內(nèi)側(cè)的中端均固定連接有夾座(15)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置，其特征在于：所述支撐座(1)底部的四周均固定連接有支撐腿(17)，且支撐腿(17)的底部固定連接有橡膠墊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置，其特征在于：所述支撐座(1)正表面的右端固定連接有控制器(2)，且控制器(2)的正表面從左到右依次固定連接有激光器開關(guān)(21)、電機(jī)控制按鍵(22)、第一伸縮控制按鍵(23)、第二伸縮控制按鍵(24)和滑動(dòng)控制按鍵(25)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓正反定位的激光劃片裝置，其特征在于：所述第六支撐板(10)的底部且位于激光器(11)的右側(cè)固定連接有第五支撐板(9)，且第五支撐板(9)的左側(cè)從上到下依次固定連接有擴(kuò)束鏡(12)和聚焦鏡(8)。