[實用新型]一種基片裝夾裝置有效
| 申請號： | 201820287578.3 | 申請日： | 2018-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN207834332U | 公開（公告）日： | 2018-09-07 |
| 發明（設計）人： | 劉旭 | 申請（專利權）人： | 北京創昱科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;張應 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓片 本實用新型 裝夾裝置 載板 濺射材料 旋轉帶動 第一端 打孔 側圍 濺射 通孔 壓裝 穿過 應用 | ||
1.一種基片裝夾裝置，所述基片裝夾裝置包括：
設置在載板上的基座，所述基座與濺射源位于所述載板的相對兩側；
與所述基座軸連接的壓片，且所述壓片第一端用于將基片壓裝在所述載板上；
其特征在于，所述壓片第二端遠離所述載板，且所述壓片第二端可通過旋轉帶動所述壓片第一端與所述基片接觸或分離。
2.根據權利要求1所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述壓片第二端包括弧形凸部，當所述壓片第一端與基片接觸時，所述弧形凸部向遠離載板的一側偏曲。
3.根據權利要求2所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述基片裝夾裝置還包括：驅動機構，所述驅動機構設置在載板的靠近基座的一側，所述驅動機構用于驅動所述壓片第二端旋轉。
4.根據權利要求3所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述驅動機構包括連接的動力機與推動桿，所述推動桿與所述壓片第二端接觸且用于驅動所述壓片旋轉。
5.根據權利要求4所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述驅動機構還包括轉接板，所述動力機通過所述轉接板與所述推動桿連接，且所述轉接板可與多個推動桿連接。
6.根據權利要求5所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述推動桿上與所述壓片第二端接觸的一端為圓弧形。
7.根據權利要求3所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述壓片第一端與所述基片的接觸處設置有壓裝凸部，所述壓裝凸部用于與基片接觸，并將所述基片壓裝在所述載板上。
8.根據權利要求3所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述壓片第一端與所述基片的接觸處設置有壓裝凹臺，所述壓裝凹臺用于與基片接觸，并將所述基片壓裝在所述載板上。
9.根據權利要求1-8任一項所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述壓片與所述基座之間還設置有扭簧。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
