[實用新型]一種基片裝夾裝置

有效

• 申請號: 201820285583.0
• 申請日: 2018-02-28
• 公開（公告）號: CN208054442U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 劉旭
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;張應

本實用新型公開了一種基片裝夾裝置，包括：設置在載板上的基座，所述基座與濺射源位于所述載板的相對兩側；與所述基座軸連接的壓片，且所述壓片用于將基片壓裝在所述載板上；設置在載板的遠離基座的一側的驅動機構，壓片處的載板上設置有通孔，所述驅動機構穿過所述通孔，且用于驅動所述壓片旋轉；阻擋件，所述阻擋件位于所述基片與所述通孔之間，且所述阻擋件設置在所述壓片與所述載板之間。本實用新型提供的基片裝夾裝置，通過在基片與通孔之間設置阻擋件，且阻擋件位于壓片與所述載板之間，從而實現對濺射材料從通孔到達基片側圍通道的阻斷，避免濺射材料通過通孔繞鍍到基片周側；本實用新型結構簡單，應用方便。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池加工領域，尤其涉及一種基片裝夾裝置。

背景技術

物理氣相沉積(PVD)是指利用物理過程實現物質轉移，將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。它的作用是可以使某些有特殊性能(強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等)的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能。PVD基本方法：真空蒸發、濺射、離子鍍等。

在競爭越發激烈的半導體和太陽能生產中，為了實現規模效應以降低成本、增加產品的競爭力，越來越多的工廠在推動生產的自動化，而基片的裝卸載就是其中很重要的一部分內容。

在通常的自動化應用中，有一種基片裝夾機構，在載板上設置基座，在基座上通過扭簧軸連接一個活動的壓片，壓片下方的載板上設置通孔，驅動機構穿過該通孔與壓片接觸并驅動壓片的端部打開，從而將基片夾持在壓片的端部與載板之間；釋放基片的過程反之。

在常規的應用中，該機構并沒有問題，但是在一些特殊的鍍膜材料和鍍膜要求下，例如GaAs薄膜柔性太陽能電池片的生產中，嚴格要求了不允許繞鍍的存在，尤其是該工藝中包含了某種很容易產生繞鍍的材料，該材料濺射工藝時，濺射材料會通過通孔繞鍍到基片周側，因此此種結構無法使用。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種基片裝夾裝置，以解決現有技術中的問題，避免濺射材料繞鍍到基片周側。

本實用新型提供了一種基片裝夾裝置，所述基片裝夾裝置包括：

設置在載板上的基座，所述基座與濺射源位于所述載板的相對兩側；

與所述基座軸連接的壓片，且所述壓片用于將基片壓裝在所述載板上；

設置在載板的遠離基座的一側的驅動機構，壓片處的載板上設置有通孔，所述驅動機構穿過所述通孔，且用于驅動所述壓片旋轉；

所述基片裝夾裝置還包括：

阻擋件，所述阻擋件位于所述基片與所述通孔之間，且所述阻擋件設置在所述壓片與所述載板之間。

作為優選，所述阻擋件包括方形的阻擋塊，當所述壓片將基片壓裝在所述載板上時，所述阻擋塊與所述壓片和/或所述載板相貼。

作為優選，所述阻擋件為所述壓片上的凸起和/或所述載板上的凸起。

作為優選，所述載板和/或所述壓片上設有與所述壓片上的凸起和/或所述載板上的凸起對應的容納槽，當所述壓片將所述基片壓裝在所述載板上時，所述凸起伸入所述容納槽，且與所述容納槽底部相貼。

作為優選，所述壓片上與所述基片的接觸處設置有壓裝凸部，所述壓裝凸部用于與基片接觸，并將所述基片壓裝在所述載板上。

作為優選，所述阻擋件的高度大于所述基片的厚度。

作為優選，所述壓片上與基片的接觸處設置有壓裝凹臺，所述壓裝凹臺與所述基片接觸，并將所述基片壓裝在所述載板上。

作為優選，所述驅動機構包括連接的動力機與推動桿，所述推動桿穿過所述通孔，且用于驅動所述壓片旋轉。