[實用新型]一種基片裝夾裝置有效
| 申請號： | 201820285583.0 | 申請日： | 2018-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN208054442U | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發明（設計）人： | 劉旭 | 申請（專利權）人： | 北京創昱科技有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;張應 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 通孔 壓片 阻擋件 本實用新型 裝夾裝置 載板 濺射材料 驅動機構 相對兩側 基座軸 濺射源 側圍 壓裝 穿過 驅動 應用 | ||
1.一種基片裝夾裝置，所述基片裝夾裝置包括：
設置在載板上的基座，所述基座與濺射源位于所述載板的相對兩側；
與所述基座軸連接的壓片，且所述壓片用于將基片壓裝在所述載板上；
設置在載板的遠離基座的一側的驅動機構，壓片處的載板上設置有通孔，所述驅動機構穿過所述通孔，且用于驅動所述壓片旋轉；
其特征在于，所述基片裝夾裝置還包括：
阻擋件，所述阻擋件位于所述基片與所述通孔之間，且所述阻擋件設置在所述壓片與所述載板之間。
2.根據權利要求1所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述阻擋件包括方形的阻擋塊，當所述壓片將基片壓裝在所述載板上時，所述阻擋塊與所述壓片和/或所述載板相貼。
3.根據權利要求1所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述阻擋件為所述壓片上的凸起和/或所述載板上的凸起。
4.根據權利要求3所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述載板和/或所述壓片上設有與所述壓片上的凸起和/或所述載板上的凸起對應的容納槽，當所述壓片將所述基片壓裝在所述載板上時，所述凸起伸入所述容納槽，且與所述容納槽底部相貼。
5.根據權利要求1所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述壓片上與所述基片的接觸處設置有壓裝凸部，所述壓裝凸部用于與基片接觸，并將所述基片壓裝在所述載板上。
6.根據權利要求5所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述阻擋件的高度大于所述基片的厚度。
7.根據權利要求1所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述壓片上與基片的接觸處設置有壓裝凹臺，所述壓裝凹臺與所述基片接觸，并將所述基片壓裝在所述載板上。
8.根據權利要求1所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述驅動機構包括連接的動力機與推動桿，所述推動桿穿過所述通孔，且用于驅動所述壓片旋轉。
9.根據權利要求8所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述驅動機構還包括轉接板，所述動力機通過所述轉接板與所述推動桿連接，且所述轉接板可與多個推動桿連接。
10.根據權利要求1-9任一項所述的基片裝夾裝置，其特征在于，所述壓片與所述基座之間還設置有扭簧。
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