[實用新型]一種帶有過濾功能的金屬弧靶

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820279750.0
• 申請日: 2018-02-27
• 公開（公告）號: CN208087736U
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙中紅;劉偉;胡曉忠
• 申請（專利權(quán)）人: 溫州馳誠真空機械有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 溫州名創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33258
• 代理人: 陳加利

1.一種帶有過濾功能的金屬弧靶，包括安裝座，所述安裝座上設(shè)置有用于鍍至被鍍工件表面的金屬靶源以及與陰極相連的電極座，所述金屬靶源上設(shè)置有一受轟擊并濺射出電子、金屬離子及金屬顆粒的濺射面，所述金屬靶源連接設(shè)置于電極座，其特征在于：所述安裝座位于濺射面位置設(shè)置有用于過濾濺射面上濺射出來的金屬顆粒的過濾擋板，所述過濾擋板包括沿遠離濺射面外徑逐漸變小的若干環(huán)狀擋板以及用于封閉外徑最小的環(huán)狀擋板的環(huán)口的環(huán)口封閉板，相鄰所述環(huán)狀擋板中，外徑較大的環(huán)狀擋板的內(nèi)徑小于外徑較小的環(huán)狀擋板的外徑，相鄰所述環(huán)狀擋板之間設(shè)置有用于連接兩環(huán)狀擋板的連接件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有過濾功能的金屬弧靶，其特征在于：所述環(huán)狀擋板數(shù)量為5片，外徑從大到小分別為第一擋板、第二擋板、第三擋板、第四擋板及第五擋板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有過濾功能的金屬弧靶，其特征在于：所述連接件包括間隙柱及連接螺帽，相鄰兩所述環(huán)狀擋板中外徑較大的擋板上沿軸向貫穿設(shè)置有第一安裝通孔，相鄰兩所述環(huán)狀擋板中外徑較小的擋板對應(yīng)第一安裝通孔位置沿徑向延伸設(shè)置有安裝延伸部，所述安裝延伸部上對應(yīng)第一安裝通孔設(shè)置有第二安裝通孔，所述間隙柱軸向兩端分別朝向第一安裝通孔及第二安裝通孔，且間隙柱的半徑大于第一安裝通孔的半徑及第二安裝通孔的半徑，所述間隙柱朝向第一安裝通孔側(cè)設(shè)置有與第一安裝通孔半徑相適配的第一螺紋插桿，所述間隙柱朝向第二安裝通孔側(cè)設(shè)置有與第二安裝通孔半徑相適配的第二螺紋插桿，各所述連接螺帽分別與第一螺紋插桿及第二螺紋插桿螺紋配合，實現(xiàn)環(huán)狀擋板與間隙柱的固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種帶有過濾功能的金屬弧靶，其特征在于：相鄰兩所述環(huán)狀擋板中外徑較大的擋板上的第一安裝通孔的數(shù)量為兩個，兩個所述第一安裝通孔以對應(yīng)環(huán)狀擋板的軸向為對稱軸對稱設(shè)置，相鄰兩所述環(huán)狀擋板中外徑較小的擋板上的第二安裝通孔的數(shù)量為兩個，兩個所述第二安裝通孔以對應(yīng)環(huán)狀擋板的軸向為對稱軸對稱設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有過濾功能的金屬弧靶，其特征在于：所述環(huán)狀擋板中兩個第一安裝通孔軸向之間的距離的連線與兩個第二安裝通孔軸向之間的距離的連線相互垂直。