[實用新型]一種單晶硅棒切割工裝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820276812.2 | 申請日： | 2018-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN207930899U | 公開（公告）日： | 2018-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王全文;楊蛟;李鷺 | 申請（專利權(quán)）人： | 成都青洋電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 成都金英專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 611200 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 燕尾形槽 單晶硅棒切割 本實用新型 單晶硅棒 單晶硅片 膠粘層 樹脂條 工裝 導(dǎo)軌 滑塊 油缸 粘接 前后滑動 前后設(shè)置 軸向布置 活塞桿 膠條 內(nèi)開 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種單晶硅棒切割工裝，其特征在于：它包括油缸（1），所述油缸（1）活塞桿的末端固設(shè)有導(dǎo)軌（2），導(dǎo)軌（2）內(nèi)開設(shè)有燕尾形槽（3），燕尾形槽（3）內(nèi)設(shè)置有可沿燕尾形槽（3）前后滑動的滑塊（4），滑塊（4）的底部經(jīng)膠粘層A（5）粘接有樹脂條（6），樹脂條（6）的底部經(jīng)膠粘層B（7）粘接有前后設(shè)置的單晶硅棒（8），單晶硅棒（8）的底部設(shè)置有沿其軸向布置的膠條（9）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒切割工裝，其特征在于：所述油缸（1）垂向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒切割工裝，其特征在于：該切割工裝還包括龍門架（10），所述油缸（1）的缸筒固定安裝于龍門架（10）的橫梁上。
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