[實(shí)用新型]一種硅片夾爪及硅片夾持機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820275401.1
• 申請(qǐng)日: 2018-02-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207587717U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葛林五;陳景韶;葛林新;李杰;丁高生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海提牛機(jī)電設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31105
• 代理人: 周濤

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片夾爪及硅片夾持機(jī)構(gòu)，屬于硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域。夾爪包括橫梁、兩個(gè)連接桿和承載橫梁，橫梁的兩端分別與兩個(gè)連接桿的上端連接，承載橫梁的兩端分別與兩個(gè)連接桿的下端連接，承載橫梁上設(shè)有一組以上硅片夾持槽，每組硅片夾持槽均包括多個(gè)硅片夾持槽，且同一組內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片夾持槽之間的距離相等，硅片夾持槽為開(kāi)設(shè)在橫梁側(cè)面的凹槽，且凹槽的槽底均處于同一上弦弧面上；硅片夾持機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)桿和兩個(gè)上述硅片夾爪，兩個(gè)硅片夾爪相對(duì)設(shè)置，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)桿相平行，兩個(gè)硅片夾爪的上端分別與兩個(gè)驅(qū)動(dòng)桿通過(guò)固定夾具連接。該硅片夾爪和硅片夾持機(jī)構(gòu)對(duì)硅片的夾持穩(wěn)定，改變了以往對(duì)硅片清洗的方法，提高了硅片的清洗質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片夾爪及硅片夾持機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，硅片在清洗時(shí)，通常是將硅片放置在硅片承載花籃里，然后將硅片承載花籃放置在清洗槽內(nèi)對(duì)硅片進(jìn)行清洗。因?yàn)楣杵休d花籃對(duì)硅片具有一定的遮擋，導(dǎo)致清洗液對(duì)硅片的清洗不夠徹底，影響硅片的清洗質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片夾爪及硅片夾持機(jī)構(gòu)，用于解決清洗液對(duì)硅片的清洗不夠徹底的問(wèn)題。

本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種硅片夾爪，包括橫梁、兩個(gè)連接桿和承載橫梁，所述橫梁的兩端分別與兩個(gè)連接桿的上端連接，所述承載橫梁的兩端分別與兩個(gè)連接桿的下端連接，所述承載橫梁上設(shè)有一組以上硅片夾持槽，每組硅片夾持槽均包括多個(gè)硅片夾持槽，且同一組內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片夾持槽之間的距離相等，所述硅片夾持槽為開(kāi)設(shè)在橫梁側(cè)面的凹槽，且凹槽的槽底均處于同一上弦弧面上。

優(yōu)選的，所述硅片夾持槽有兩組。

優(yōu)選的，所述橫梁包括第一橫梁和第二橫梁，所述第一橫梁的兩端和第二橫梁的兩端均與兩個(gè)連接桿的上端連接，且第一橫梁處于第二橫梁的上方。

優(yōu)選的，所述橫梁呈圓柱狀。

優(yōu)選的，所述兩個(gè)連接桿的上端均經(jīng)過(guò)圓角處理。

優(yōu)選的，所述兩個(gè)連接桿的下端均呈尖角狀，所述承載橫梁的下表面設(shè)有橫截面為倒三角形的凸條。

一種硅片夾持機(jī)構(gòu)，包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)桿和兩個(gè)上述硅片夾爪，所述兩個(gè)硅片夾爪相對(duì)設(shè)置，所述兩個(gè)驅(qū)動(dòng)桿相平行，所述兩個(gè)硅片夾爪的上端分別與兩個(gè)驅(qū)動(dòng)桿通過(guò)固定夾具連接，所述兩個(gè)固定夾具均包括固定座，所述固定座的上端設(shè)有第一夾持槽，所述固定座的另一端設(shè)有夾爪夾持機(jī)構(gòu)，所述夾爪夾持機(jī)構(gòu)包括滑動(dòng)座和蓋板，所述蓋板與滑動(dòng)座連接，所述滑動(dòng)座與蓋板相對(duì)的一面設(shè)有第一凹槽，所述蓋板與滑動(dòng)座相對(duì)的一面設(shè)有第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽均與第一夾持槽相平行，所述第一凹槽和第二凹槽相對(duì)設(shè)置，所述第一凹槽和第二凹槽相配合形成用于夾持橫梁的夾持部，所述固定座上設(shè)有條形孔，所述緊固螺栓的上端穿過(guò)條形孔與滑動(dòng)座螺紋連接，所述固定座的上表面設(shè)有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括固定塊和調(diào)節(jié)螺栓，所述固定塊與固定座的上表面固定連接，所述固定塊上設(shè)有水平螺栓孔，所述調(diào)節(jié)螺栓的首端穿過(guò)水平螺栓孔與夾爪夾持機(jī)構(gòu)連接。

優(yōu)選的，所述第一凹槽和第二凹槽的縱剖面均為半圓形。

優(yōu)選的，所述第一夾持槽的槽底的縱剖面呈圓形，所述第一夾持槽的槽口處設(shè)有用于調(diào)節(jié)第一夾持槽大小的鎖緊機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括一個(gè)以上鎖緊螺栓，所述第一夾持槽的槽口兩側(cè)設(shè)有一組以上對(duì)穿螺栓孔，所述鎖緊螺栓穿設(shè)于對(duì)穿螺栓孔內(nèi)。

優(yōu)選的，所述蓋板和滑動(dòng)座通過(guò)第一螺栓連接。

優(yōu)選的，所述固定塊與固定座通過(guò)第二螺栓連接。

優(yōu)選的，每個(gè)固定夾具的第一凹槽和第二凹槽均有兩個(gè)，同一個(gè)固定夾具的兩個(gè)第一凹槽分別與兩個(gè)第二凹槽相配合形成用于夾持橫梁的兩個(gè)夾持部。