[實用新型]一種硅片夾爪及硅片夾持機構

有效

• 申請號: 201820275401.1
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN207587717U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 葛林五;陳景韶;葛林新;李杰;丁高生
• 申請（專利權）人: 上海提牛機電設備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 上海智力專利商標事務所(普通合伙) 31105
• 代理人: 周濤

1.一種硅片夾爪，其特征在于，該硅片夾爪包括橫梁、兩個連接桿（1）和承載橫梁（2），所述橫梁的兩端分別與兩個連接桿（1）的上端連接，所述承載橫梁（2）的兩端分別與兩個連接桿（1）的下端連接，所述承載橫梁（2）上設有一組以上硅片夾持槽（3），每組硅片夾持槽（3）均包括多個硅片夾持槽（3），且同一組內相鄰的兩個硅片夾持槽（3）之間的距離相等，所述硅片夾持槽（3）為開設在橫梁側面的凹槽，且凹槽的槽底均處于同一上弦弧面上。

2.根據權利要求1所述的一種硅片夾爪，其特征在于，所述硅片夾持槽（3）有兩組。

3.根據權利要求1所述的一種硅片夾爪，其特征在于，所述橫梁包括第一橫梁（4）和第二橫梁（5），所述第一橫梁（4）的兩端和第二橫梁（5）的兩端均與兩個連接桿（1）的上端連接，且第一橫梁（4）處于第二橫梁（5）的上方。

4.根據權利要求1所述的一種硅片夾爪，其特征在于，所述橫梁呈圓柱狀。

5.根據權利要求1所述的一種硅片夾爪，其特征在于，所述兩個連接桿（1）的上端均經過圓角處理。

6.根據權利要求1所述的一種硅片夾爪，其特征在于，所述兩個連接桿（1）的下端均呈尖角狀，所述承載橫梁（2）的下表面設有橫截面為倒三角形的凸條。

7.一種硅片夾持機構，其特征在于，該夾持機構包括兩個驅動桿（6）和兩個權利要求1至6中任一項所述的硅片夾爪，所述兩個硅片夾爪相對設置，所述兩個驅動桿（6）相平行，所述兩個硅片夾爪的上端分別與兩個驅動桿（6）通過固定夾具連接，所述兩個固定夾具均包括固定座（21），所述固定座（21）的上端設有第一夾持槽（22），所述固定座（21）的另一端設有夾爪夾持機構，所述夾爪夾持機構包括滑動座（23）和蓋板（24），所述蓋板（24）與滑動座（23）連接，所述滑動座（23）與蓋板（24）相對的一面設有第一凹槽，所述蓋板（24）與滑動座（23）相對的一面設有第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽均與第一夾持槽（22）相平行，所述第一凹槽和第二凹槽相對設置，所述第一凹槽和第二凹槽相配合形成用于夾持橫梁的夾持部（25），所述固定座（21）上設有條形孔（26），緊固螺栓的上端穿過條形孔（26）與滑動座（23）螺紋連接，所述固定座（21）的上表面設有調節機構，所述調節機構包括固定塊（27）和調節螺栓（28），所述固定塊（27）與固定座（21）的上表面固定連接，所述固定塊（27）上設有水平螺栓孔，所述調節螺栓（28）的首端穿過水平螺栓孔與夾爪夾持機構連接。

8.根據權利要求7所述的一種硅片夾持機構，其特征在于，所述第一凹槽和第二凹槽的縱剖面均為半圓形。

9.根據權利要求7所述的一種硅片夾持機構，其特征在于，所述第一夾持槽（22）的槽底的縱剖面呈圓形，所述第一夾持槽（22）的槽口處設有用于調節第一夾持槽（22）大小的鎖緊機構。

10.根據權利要求9所述的一種硅片夾持機構，其特征在于，所述鎖緊機構包括一個以上鎖緊螺栓（29），所述第一夾持槽（22）的槽口兩側設有一組以上對穿螺栓孔，所述鎖緊螺栓（29）穿設于對穿螺栓孔內。