[實(shí)用新型]一種高速裝片機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820274170.2 | 申請(qǐng)日: | 2018-02-27 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN207765429U | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-08-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 梁明剛 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廣東啟天自動(dòng)化智能裝備股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 泰州地益專利事務(wù)所 32108 | 代理人: | 譚建成 |
| 地址: | 523637 廣東省東*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 運(yùn)動(dòng)組件 籃具 硅片承載盒 本實(shí)用新型 吸盤(pán)運(yùn)動(dòng) 裝片機(jī) 吸盤(pán) 硅片輸送機(jī)構(gòu) 左右運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu) 皮帶輸送線 頂升機(jī)構(gòu) 定位機(jī)構(gòu) 工作效率 硅片污染 滑臺(tái)機(jī)構(gòu) 升降機(jī)構(gòu) 引導(dǎo)裝置 承載盒 雙吸盤(pán) 碎片率 無(wú)人化 硅片 自動(dòng)化 車間 | ||
本實(shí)用新型提供一種高速裝片機(jī),包括吸盤(pán)運(yùn)動(dòng)組件、硅片承載盒運(yùn)動(dòng)組件和籃具運(yùn)動(dòng)組件;所述吸盤(pán)運(yùn)動(dòng)組件,包括:雙吸盤(pán)結(jié)構(gòu)和吸盤(pán)左右運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu);所述硅片承載盒運(yùn)動(dòng)組件,包括承載盒硅片頂升機(jī)構(gòu)、硅片承載盒滑臺(tái)機(jī)構(gòu)和硅片輸送機(jī)構(gòu);所述籃具運(yùn)動(dòng)組件,包括籃具升降機(jī)構(gòu)、籃具定位機(jī)構(gòu)、藍(lán)具引導(dǎo)裝置和藍(lán)具皮帶輸送線。本實(shí)用新型的有益效果為穩(wěn)定性好,自動(dòng)化程度高,減少空間浪費(fèi),實(shí)現(xiàn)無(wú)人化車間;碎片率低,對(duì)硅片污染小,工作效率有效提高,結(jié)構(gòu)合理,穩(wěn)定性好。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能電池制造設(shè)備領(lǐng)域,尤其是涉及一種高速裝片機(jī)。
背景技術(shù)
太陽(yáng)能電池是通過(guò)光電效應(yīng)或者光學(xué)效應(yīng)直接把光能轉(zhuǎn)化成電能的裝置。以光電效應(yīng)工作的精硅太陽(yáng)能電池為主流,而以光化學(xué)效應(yīng)工作的薄膜電池實(shí)施太陽(yáng)能電池則屬于萌芽階段。
目前太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中,包含有多個(gè)工序,如硅片清洗、制絨、等,在上述的工序中都需要將硅片裝入籃具中及料盒中相互替換下來(lái)。現(xiàn)有技術(shù)中,都習(xí)慣采用人工的方式操作,該方式容易出現(xiàn)碎片率高、對(duì)硅片的污染大、效率低等問(wèn)題、浪費(fèi)人力物力。
因此,亟待本領(lǐng)域技術(shù)人員攻克上述技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的問(wèn)題是提供一種高速裝片機(jī),能夠解決上述問(wèn)題。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種高速裝片機(jī),包括吸盤(pán)運(yùn)動(dòng)組件、硅片承載盒運(yùn)動(dòng)組件和籃具運(yùn)動(dòng)組件;吸盤(pán)運(yùn)動(dòng)組件,包括:雙吸盤(pán)結(jié)構(gòu)和吸盤(pán)左右運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu);雙吸盤(pán)結(jié)構(gòu)與吸盤(pán)左右運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接;硅片承載盒運(yùn)動(dòng)組件,包括承載盒硅片頂升機(jī)構(gòu)、硅片承載盒滑臺(tái)機(jī)構(gòu)和硅片輸送機(jī)構(gòu);承載盒硅片頂升機(jī)構(gòu)與硅片承載盒滑臺(tái)機(jī)構(gòu)連接,硅片承載盒滑臺(tái)機(jī)構(gòu)與硅片輸送機(jī)構(gòu)連接;硅片輸送機(jī)構(gòu)與籃具硅片插入機(jī)構(gòu)連接;籃具運(yùn)動(dòng)組件,包括籃具升降機(jī)構(gòu)、籃具定位機(jī)構(gòu)、藍(lán)具引導(dǎo)裝置和藍(lán)具皮帶輸送線;籃具定位機(jī)構(gòu)與藍(lán)具引導(dǎo)裝置連接;籃具升降機(jī)構(gòu)與藍(lán)具皮帶輸送線連接;吸盤(pán)運(yùn)動(dòng)組件、硅片承載盒運(yùn)動(dòng)組件、籃具運(yùn)動(dòng)組件通過(guò)機(jī)架固定連接;每組吸盤(pán)吸取兩片硅片,且每組吸盤(pán)移動(dòng)范圍為上下左右四個(gè)方向。
優(yōu)選地,還包括:硅片緩存機(jī)構(gòu),硅片緩存機(jī)構(gòu)與硅片輸送機(jī)構(gòu)連接。
優(yōu)選地,還包括矯正組件,其包括:緩存盒前硅片矯正機(jī)構(gòu)和籃具前硅片矯正機(jī)構(gòu);緩存盒前硅片矯正機(jī)構(gòu)與硅片緩存機(jī)構(gòu)連接;籃具前硅片矯正機(jī)構(gòu)與籃具定位機(jī)構(gòu)連接。
優(yōu)選地,硅片緩存機(jī)構(gòu)上還設(shè)有換籃過(guò)渡期暫存硅片裝置,每個(gè)過(guò)渡期換籃過(guò)渡期暫存硅片裝置可放置硅片為n,其中,n≤49。
優(yōu)選地,承載盒滑臺(tái)機(jī)構(gòu)上分別連接有承載盒定位裝置和承載盒固定裝置;承載盒硅片頂升機(jī)構(gòu)上還連接有感應(yīng)器,以檢測(cè)承載盒上有無(wú)裝載硅片。
優(yōu)選地,籃具硅片插入機(jī)構(gòu)上設(shè)有可伸縮機(jī)構(gòu)和檢測(cè)硅片是否插入籃具的感應(yīng)器。
優(yōu)選地,籃具定位機(jī)構(gòu)上設(shè)有檢測(cè)籃具到位的感應(yīng)器和籃具壓緊氣缸。
優(yōu)選地,所述吸盤(pán)運(yùn)動(dòng)組件、硅片承載盒運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、籃具運(yùn)動(dòng)組件通過(guò)人機(jī)界面進(jìn)行控制。
本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
1)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理,穩(wěn)定性好,自動(dòng)化程度高,減少空間浪費(fèi),實(shí)現(xiàn)無(wú)人化車間。
2)本實(shí)用新型碎片率低,對(duì)硅片污染小,工作效率有效提高。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用高速裝片機(jī)結(jié)構(gòu)示意主視圖。
圖2為本實(shí)用高速裝片機(jī)結(jié)構(gòu)示意俯視圖。
圖3為本實(shí)用高速裝片機(jī)結(jié)構(gòu)示意側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





