[實用新型]一種高速裝片機

有效

• 申請號: 201820274170.2
• 申請日: 2018-02-27
• 公開（公告）號: CN207765429U
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 梁明剛
• 申請（專利權）人: 廣東啟天自動化智能裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 泰州地益專利事務所 32108
• 代理人: 譚建成

1.一種高速裝片機，其特征在于：包括吸盤運動組件、硅片承載盒運動組件和籃具運動組件；

所述吸盤運動組件，包括：雙吸盤結構和吸盤左右運動機構；所述雙吸盤結構與吸盤左右運動機構連接；

所述硅片承載盒運動組件，包括承載盒硅片頂升機構、硅片承載盒滑臺機構和硅片輸送機構；所述承載盒硅片頂升機構與硅片承載盒滑臺機構連接，所述硅片承載盒滑臺機構與所述硅片輸送機構連接；所述硅片輸送機構與所述籃具硅片插入機構連接；

所述籃具運動組件，包括籃具升降機構、籃具定位機構、藍具引導裝置和藍具皮帶輸送線；所述籃具定位機構與所述藍具引導裝置連接；所述籃具升降機構與所述藍具皮帶輸送線連接；

所述吸盤運動組件、硅片承載盒運動組件、籃具運動組件通過機架固定連接；每組吸盤吸取兩片硅片，且每組吸盤移動范圍為上下左右四個方向。

2.根據權利要求1所述的一種高速裝片機，其特征在于：還包括：硅片緩存機構，所述硅片緩存機構與所述硅片輸送機構連接。

3.根據權利要求2所述的一種高速裝片機，其特征在于：還包括矯正組件，其包括：緩存盒前硅片矯正機構和籃具前硅片矯正機構；所述緩存盒前硅片矯正機構與所述硅片緩存機構連接；所述籃具前硅片矯正機構與所述籃具定位機構連接。

4.根據權利要求2所述的一種高速裝片機，其特征在于：所述硅片緩存機構上還設有換籃過渡期暫存硅片裝置，每個過渡期所述換籃過渡期暫存硅片裝置可放置硅片為n，其中，n≤49。

5.根據權利要求1所述的一種高速裝片機，其特征在于：所述承載盒滑臺機構上分別連接有承載盒定位裝置和承載盒固定裝置；所述承載盒硅片頂升機構上還連接有感應器，以檢測承載盒上有無裝載硅片。

6.根據權利要求1所述的一種高速裝片機，其特征在于：所述籃具硅片插入機構上設有可伸縮機構和檢測硅片是否插入籃具的感應器。

7.根據權利要求1所述的一種高速裝片機，其特征在于：所述籃具定位機構上設有檢測籃具到位的感應器和籃具壓緊氣缸。

8.根據權利要求1所述的一種高速裝片機，其特征在于：所述吸盤運動組件、硅片承載盒運動機構、籃具運動組件通過人機界面進行控制。