[實用新型]一種復合分子泵

有效

• 申請號: 201820272364.9
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN208169156U
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 馬建;樂韻;董寶田
• 申請（專利權）人: 北京海斯德電機技術有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D25/06;F04D29/32;F04D29/54
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 姚金金

1.一種復合分子泵，其特征在于：包括泵殼、機芯殼體、轉軸、轉子和定子，所述機芯殼體的上端敞口，所述轉子套設于所述機芯殼體的上部，所述轉軸豎直設于所述機芯殼體內且所述轉軸的上端與所述轉子連接，用于帶動所述轉子轉動，所述機芯殼體的上部的外周設有第一導流槽以形成第一牽引級定子，所述第一導流槽的上端與所述機芯殼體的內部連通；

所述轉子包括位于上部的渦輪級轉子和位于下部的牽引級轉子，所述牽引級轉子與所述第一牽引級定子對應設置，且所述牽引級轉子的外周設有第二導流槽；

所述定子套設于所述轉子上，且所述定子包括第一牽引級定子、與所述渦輪級轉子對應設置的渦輪級定子和與所述牽引級轉子對應設置的第二牽引級定子；

所述泵殼套設于所述定子上，且所述泵殼的上端設有進氣口，所述泵殼的側壁上設有出氣口，所述出氣口與所述第一導流槽及第二導流槽連通。

2.根據權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于：所述第一導流槽和所述第二導流槽均為螺旋形導流槽。

3.根據權利要求2所述的復合分子泵，其特征在于：所述出氣口與所述第一導流槽及所述第二導流槽的下端連通。

4.根據權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于：所述渦輪級轉子的外周沿軸向依次設有多層渦輪級動片，所述渦輪級定子的外周沿軸向設有與所述渦輪級動片的層數相應的渦輪級定片，所述渦輪級定片與所述渦輪級定片沿軸向交替排列。

5.根據權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于：所述轉子沿軸向設有通孔，所述通孔的上端通過上蓋板和密封圈封閉。

6.根據權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于：所述機芯殼體內設有轉軸安裝孔，所述轉軸安裝孔的孔徑大于所述轉軸的軸徑，且所述轉軸安裝孔內設有徑向磁軸承，所述徑向磁軸承套設于所述轉軸上，防止所述轉軸在徑向晃動，所述轉軸的下端設有轉動盤，所述轉動盤上安裝有軸向磁軸承，所述軸向磁軸承用于防止所述轉軸在軸向發生竄動。

7.根據權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于：所述轉子與所述轉軸通過緊固件固定。

8.根據權利要求7所述的復合分子泵，其特征在于：所述緊固件自上而下依次穿過所述轉子和轉軸將所述轉子和轉軸固定。

9.根據權利要求6所述的復合分子泵，其特征在于：所述轉軸安裝孔內設有電機定子，所述電機定子與所述轉軸連接，用于帶動所述轉軸轉動。