[實用新型]一種復合分子泵

有效

• 申請號: 201820272364.9
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN208169156U
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 馬建;樂韻;董寶田
• 申請（專利權）人: 北京海斯德電機技術有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D25/06;F04D29/32;F04D29/54
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 姚金金

本實用新型涉及分子泵技術領域，尤其涉及一種復合分子泵，包括泵殼、機芯殼體、轉軸、轉子和定子，機芯殼體的上部的外周設有第一導流槽以形成第一牽引級定子，第一導流槽的上端與機芯殼體的內部連通；轉子包括位于上部的渦輪級轉子和位于下部的牽引級轉子，牽引級轉子與第一牽引級定位對應設置，且牽引級轉子的外周設有第二導流槽，定子套設于轉子上，且定子包括第一牽引級定子、與渦輪級轉子對應設置的渦輪級定子和與牽引級轉子對應設置的第二牽引級定子。本實用新型在機芯殼體上開設第一導流槽形成第一牽引級定子，在轉子轉動時，機芯殼體內的氣體從第一導流槽向出氣口方向流動，使得機芯殼體內真空度提高，從而抑制機芯殼體內空氣向高真空區泄露。

技術領域

本實用新型涉及分子泵技術領域，尤其涉及一種復合分子泵。

背景技術

分子泵被廣泛應用于高真空領域，因為分子泵長時間高轉速的工作特性和高潔凈度要求非常適合磁懸浮軸承的應用，所以磁懸浮分子泵逐漸成為分子泵的主流。

分子泵工作時是按照：腔體—分子泵—前級泵來布置。分子泵進氣口接被抽氣腔體，分子泵出氣口接前級泵。前級泵為普通真空泵，真空度可達到10E-1Pa。工作時，前級泵先被啟動，使得被抽腔體和分子泵內真空度達到10E-1Pa。然后分子泵開始工作，使被抽腔體的真空度由10^-1Pa提高到10^-7Pa。分子泵進氣口處為高真空區，真空度為10-7Pa。出氣口處為低真空區，真空度為10^-1Pa。分子泵的工作原理就是通過動片的高速旋轉來維持接口處的高真空度，其中，在高真空區，動片為渦輪級，其上分布各級葉片，在低真空區，動片為牽引級，其上分布有螺旋槽。分子泵工作時，會將氣體分子從高真空區搬運到低真空區，而低真空區的氣體分子會自發的反流到高真空區，當腔體的真空度達到一定程度，抽氣和反流會達到平衡，真空度就不會再提高，此時，分子泵需要長時間運行來維持著這個平衡，從而保證腔體的高真空度。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是解決分子泵的低真空區的氣體分子會反流到高低空區從而降低分子泵所維持的高真空度。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種復合分子泵，包括泵殼、機芯殼體、轉軸、轉子和定子，所述機芯殼體的上端敞口，所述轉子套設于所述機芯殼體的上部，所述轉軸豎直設于所述機芯殼體內且所述轉軸的上端與所述轉子連接，用于帶動所述轉子轉動，所述機芯殼體的上部的外周設有第一導流槽以形成第一牽引級定子，所述第一導流槽的上端與所述所述機芯殼體的內部連通；

所述轉子包括位于上部的渦輪級轉子和位于下部的牽引級轉子，所述牽引級轉子與所述第一牽引級定子對應設置，且所述牽引級轉子的外周沿設有第二導流槽；

所述定子套設于所述轉子上，且所述定子包括第一牽引級定子、與所述渦輪級轉子對應設置的渦輪級定子和與所述牽引級轉子對應設置的第二牽引級定子；

所述泵殼套設于所述定子上，且所述泵殼的上端設有進氣口，所述泵殼的側壁上設有出氣口，所述出氣口與所述第一導流槽及第二導流槽連通。

其中，所述第一導流槽和所述第二導流槽均為螺旋形導流槽。

其中，所述出氣口與所述第一導流槽及所述第二導流槽的下端連通。

其中，所述渦輪級轉子的外周沿軸向依次設有多層渦輪級動片，所述渦輪級定子的外周沿軸向設有與所述渦輪級動片的層數相應的渦輪級定片，所述渦輪級定片與所述渦輪級定片沿軸向交替排列。

其中，所述轉子沿軸向設有通孔，所述通孔的上端通過上蓋板和密封圈封閉。