[實用新型]一種電子調光帶的sputter法制備裝置

有效

• 申請號: 201820270023.8
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN208038546U
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 封海生
• 申請（專利權）人: 珠海中聯幕墻裝飾工程有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/04
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 俞梁清

1.一種電子調光帶的sputter法制備裝置，其特征在于：包括相鉸接的底板(1)及圖案模板(2)；所述底板(1)設置有用于放置被加工基材的凹部(11)，所述圖案模板(2)設置有用于允許粒子通過并向基材濺射的漏空區(21)以及用于阻擋粒子向基材濺射的遮擋區(22)；所述底板(1)上設置有用于定位貼合基材的對位標(11a)。

2.根據權利要求1所述的一種電子調光帶的sputter法制備裝置，其特征在于：所述底板(1)上遠離鉸接軸的一端通過鎖扣與圖案模板(2)扣接。

3.根據權利要求2所述的一種電子調光帶的sputter法制備裝置，其特征在于：所述鎖扣包括曲柄、連桿以及鉤件，曲柄的兩端分別鉸接底板(1)及連桿，鉤件設置在模板上，連桿上遠離曲柄的一端設置有用于扣接鉤件的勾部；曲柄的轉動能夠帶動連桿的勾部扣接或脫離鉤件。

4.根據權利要求1所述的一種電子調光帶的sputter法制備裝置，其特征在于：所述底板(1)活動連接有壓板(3)及調節螺栓(4)，調節螺栓(4)的轉動用于控制壓板(3)遠離和靠近圖案模板(2)；壓板(3)向圖案模板(2)的靠近用于控制基材貼合圖案模板(2)。