[實(shí)用新型]化學(xué)研磨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820264904.9 | 申請日： | 2018-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN208068038U | 公開（公告）日： | 2018-11-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王躍;石永芳;李曉波;何昱岑;彭洋;陳洪宇 | 申請（專利權(quán)）人： | 重慶第二師范學(xué)院 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 400067 重*** | 國省代碼： | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃基板 研磨液 化學(xué)研磨 儲存箱 放置架 耐酸閥 氟酸 浴箱 加工技術(shù)領(lǐng)域 本實(shí)用新型 吊裝設(shè)備 封閉狀態(tài) 研磨處理 揮發(fā)量 耐酸泵 連帶 取放 取出 | ||
本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)研磨裝置，屬于玻璃基板加工技術(shù)領(lǐng)域，該裝置主要由研磨液浴箱、玻璃基板放置架、耐酸閥、研磨液儲存箱和耐酸泵組成，可將玻璃基板放置在研磨液浴箱內(nèi)進(jìn)行研磨處理，在處理過程中，完全處于封閉狀態(tài)，不會揮發(fā)出氟酸氣體，改善了工作人員的工作環(huán)境；當(dāng)需要從研磨液浴箱中取出玻璃基板時，只需要打開耐酸閥，將研磨液浴箱內(nèi)的研磨液排至研磨液儲存箱中，然后利用吊裝設(shè)備將玻璃基板放置架連帶玻璃基板一起吊出，最大程度的減少了取放玻璃基板過程中氟酸揮發(fā)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于玻璃基板加工領(lǐng)域，具體涉及一種化學(xué)研磨裝置。
背景技術(shù)
為了使玻璃基板薄型化，通常需要使用含有氟酸的化學(xué)研磨液對玻璃基板進(jìn)行化學(xué)研磨處理。目前在玻璃基板批量研磨處理過程中，一般是以規(guī)定時間浸漬于研磨液浴槽中，但是由于研磨液浴槽是向上方開放的結(jié)構(gòu)，浴槽中的研磨液容易揮發(fā)出氟酸氣體，并擴(kuò)散至周圍，工作人員長期在這樣的環(huán)境下工作，會危害到工作人員的健康，如果工作人員身穿防護(hù)服進(jìn)行工作，則操作會顯得非常麻煩。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種化學(xué)研磨裝置。
本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)上述目的：
一種化學(xué)研磨裝置，包括：
研磨液儲存箱，所述研磨液儲存箱設(shè)置有循環(huán)回液口、補(bǔ)液口和兩個出液口，所述研磨液儲存箱的補(bǔ)液口和其中一個出液口均設(shè)置有密封塞；
研磨液浴箱，所述研磨液浴箱固定安裝于所述研磨液儲存箱的上方，其頂部設(shè)置有浴箱密封蓋，側(cè)壁由上至下依次開設(shè)有若干扁平狀的浴箱進(jìn)液口，底部設(shè)置有循環(huán)排液口，所述研磨液浴箱的循環(huán)排液口與所述研磨液儲存箱的循環(huán)回液口之間通過耐酸閥連接；
玻璃基板放置架，所述玻璃基板放置架放置于所述研磨液浴箱內(nèi)，且由上至下依次設(shè)置有多層網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的玻璃支撐板，每層所述玻璃支撐板均對應(yīng)一個所述浴箱進(jìn)液口；
耐酸泵，所述耐酸泵的進(jìn)口與所述研磨液儲存箱的另一個出液口連接；
分液器，所述分液器由一根分液總管和若干與所述分液總管連接的分液支管組成，所述分液支管的出口為與所述浴箱進(jìn)液口形狀相匹配的長條形矩形口，所述分液支管與所述浴箱進(jìn)液口一一對應(yīng)連接，所述分液總管與所述耐酸泵的出口連接。
作為本專利選擇的一種技術(shù)方案，所述研磨液儲存箱和所述研磨液浴箱均設(shè)置有透明的觀察窗。
作為本專利選擇的一種技術(shù)方案，所述研磨液浴箱的底部為漏斗狀，且漏斗底口作為所述研磨液浴箱的循環(huán)排液口。
作為本專利選擇的一種技術(shù)方案，所述研磨液儲存箱的兩個出液口均設(shè)置于側(cè)下部，補(bǔ)液口設(shè)置有側(cè)上部，循環(huán)回液口設(shè)置于頂部。
作為本專利選擇的一種技術(shù)方案，所述玻璃基板放置架和所述浴箱密封蓋均設(shè)置有吊環(huán)。
本實(shí)用新型的有益效果在于：
該裝置主要由研磨液浴箱、玻璃基板放置架、耐酸閥、研磨液儲存箱和耐酸泵組成，可將玻璃基板放置在研磨液浴箱內(nèi)進(jìn)行研磨處理，在處理過程中，完全處于封閉狀態(tài)，不會揮發(fā)出氟酸氣體，改善了工作人員的工作環(huán)境；當(dāng)需要從研磨液浴箱中取出玻璃基板時，只需要打開耐酸閥，將研磨液浴箱內(nèi)的研磨液排至研磨液儲存箱中，然后利用吊裝設(shè)備將玻璃基板放置架連帶玻璃基板一起吊出，最大程度的減少了取放玻璃基板過程中氟酸揮發(fā)量。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型所述化學(xué)研磨裝置的局部剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本實(shí)用新型所述分液器的結(jié)構(gòu)示意圖；
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