[實(shí)用新型]化學(xué)研磨裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820264904.9 | 申請(qǐng)日： | 2018-02-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208068038U | 公開（公告）日： | 2018-11-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王躍;石永芳;李曉波;何昱岑;彭洋;陳洪宇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 重慶第二師范學(xué)院 |
| 主分類號(hào)： | B24B57/02 | 分類號(hào)： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 400067 重*** | 國省代碼： | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃基板 研磨液 化學(xué)研磨 儲(chǔ)存箱 放置架 耐酸閥 氟酸 浴箱 加工技術(shù)領(lǐng)域 本實(shí)用新型 吊裝設(shè)備 封閉狀態(tài) 研磨處理 揮發(fā)量 耐酸泵 連帶 取放 取出 | ||
1.一種化學(xué)研磨裝置，其特征在于，包括：
研磨液儲(chǔ)存箱，所述研磨液儲(chǔ)存箱設(shè)置有循環(huán)回液口、補(bǔ)液口和兩個(gè)出液口，所述研磨液儲(chǔ)存箱的補(bǔ)液口和其中一個(gè)出液口均設(shè)置有密封塞；
研磨液浴箱，所述研磨液浴箱固定安裝于所述研磨液儲(chǔ)存箱的上方，其頂部設(shè)置有浴箱密封蓋，側(cè)壁由上至下依次開設(shè)有若干扁平狀的浴箱進(jìn)液口，底部設(shè)置有循環(huán)排液口，所述研磨液浴箱的循環(huán)排液口與所述研磨液儲(chǔ)存箱的循環(huán)回液口之間通過耐酸閥連接；
玻璃基板放置架，所述玻璃基板放置架放置于所述研磨液浴箱內(nèi)，且由上至下依次設(shè)置有多層網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的玻璃支撐板，每層所述玻璃支撐板均對(duì)應(yīng)一個(gè)所述浴箱進(jìn)液口；
耐酸泵，所述耐酸泵的進(jìn)口與所述研磨液儲(chǔ)存箱的另一個(gè)出液口連接；
分液器，所述分液器由一根分液總管和若干與所述分液總管連接的分液支管組成，所述分液支管的出口為與所述浴箱進(jìn)液口形狀相匹配的長條形矩形口，所述分液支管與所述浴箱進(jìn)液口一一對(duì)應(yīng)連接，所述分液總管與所述耐酸泵的出口連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)研磨裝置，其特征在于，所述研磨液儲(chǔ)存箱和所述研磨液浴箱均設(shè)置有透明的觀察窗。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)研磨裝置，其特征在于，所述研磨液浴箱的底部為漏斗狀，且漏斗底口作為所述研磨液浴箱的循環(huán)排液口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)研磨裝置，其特征在于，所述研磨液儲(chǔ)存箱的兩個(gè)出液口均設(shè)置于側(cè)下部，補(bǔ)液口設(shè)置有側(cè)上部，循環(huán)回液口設(shè)置于頂部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)研磨裝置，其特征在于，所述玻璃基板放置架和所述浴箱密封蓋均設(shè)置有吊環(huán)。
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