[實用新型]一種靶材幫定自動控溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820246435.8
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN207908997U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設計）人: 李兵
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: G05D23/22
• 分類號: G05D23/22
• 代理公司: 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

本實用新型公開了一種靶材幫定自動控溫裝置，控制單元的輸入端電連接各熱電偶，以實現(xiàn)接收各熱電偶的電流信號或電壓信號；控制單元設置有時間溫度比較單元，控制單元電連接時間溫度比較單元，以實現(xiàn)將各熱電偶的電流信號或電壓信號與存儲在記錄儀中的時間溫度比較曲線或時間溫度對照表進行比較。本實用新型通過記錄儀記錄并保存加工過程的帶有時間標記的熱電偶的電壓信號，形成一時間溫度比較曲線，在批量加工過程中將當前各熱電偶的電壓信號與時間溫度比較曲線的相應時間點的電壓信號比較，自動控制背板的溫度，提高靶材幫定質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及靶材的溫度控制裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種靶材幫定自動控溫裝置。

背景技術(shù)

靶材的應用行業(yè)廣泛，種類也多種多樣，很多靶材由于本身的性質(zhì)不符合濺射設備的裝配和使用要求，需要特殊的背板，靶材與背板幫定使用。在生產(chǎn)過程中，靶材幫定需要精確的溫度控制，以實現(xiàn)良好的幫定質(zhì)量，避免熱應力導致靶材變形而報廢。不同的靶材品種規(guī)格不同，幫定要求也不同，市場上沒有專門的幫定溫控系統(tǒng)，因此有必要予以改進。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型的目的是提供一種靶材幫定自動控溫裝置，自動控制背板的溫度，提高靶材幫定質(zhì)量。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是：一種靶材幫定自動控溫裝置，包括三相交流電源、溫控器、可控硅模塊、控制單元和用于安裝背板的背板加熱平臺，背板加熱平臺間隔安裝有若干發(fā)熱管，背板加熱平臺的底面對應發(fā)熱管的位置分別安裝有熱電偶，若干發(fā)熱管并聯(lián)形成一發(fā)熱管組支路，可控硅模塊和發(fā)熱管組支路串聯(lián)而成一加熱支路；三相交流電源的三個電極分別電性連接三個加熱支路的第一端，三個加熱支路的第二端電性連接于一結(jié)點，形成一星形連接的三相交流電源工作電路；每個可控硅模塊分別具有至少一可控硅觸發(fā)器，控制單元的各信號輸出端分別電連接相應的可控硅模塊的可控硅觸發(fā)器；控制單元設置有記錄儀，溫控器的輸入端分別電連接各熱電偶，溫控器的輸出端電連接于記錄儀，記錄儀電連接控制單元，以實現(xiàn)保存帶有時間標記的熱電偶的電流信號或電壓信號，并存儲形成一時間溫度比較曲線或時間溫度對照表；控制單元的輸入端電連接各熱電偶，以實現(xiàn)接收各熱電偶的電流信號或電壓信號；控制單元設置有時間溫度比較單元，控制單元電連接時間溫度比較單元，以實現(xiàn)將各熱電偶的電流信號或電壓信號與存儲在記錄儀中的時間溫度比較曲線或時間溫度對照表進行比較。

優(yōu)選的，所述背板加熱平臺的背面田固定有10～20個發(fā)熱管組，且各發(fā)熱管呈矩陣排列，每個發(fā)熱管組包括3～6個發(fā)熱管，每個發(fā)熱管組中的各發(fā)熱管并聯(lián)成一所述發(fā)熱管組支路。

優(yōu)選的，各所述加熱支路分別通過負感器偶接有一電流表，所述三相交流電源連接有至少一電壓表。

優(yōu)選的，所述熱電偶向所述控制單元輸送電壓信號，所述記錄儀存儲有所述時間溫度比較曲線，時間溫度比較曲線中存儲的是帶有時間標記的電壓信號；在加工過程中按設定比較頻率在時間溫度比較單元中分別對各電壓信號進行比較，在時間溫度比較單元中的比較的結(jié)果是當前電壓信號大于時間溫度比較曲線中的相應時間點的電壓信號時，控制單元觸發(fā)相應的可控硅模塊的可控硅觸發(fā)器，以實現(xiàn)切斷相應發(fā)熱管的電源；在時間溫度比較單元中的比較的結(jié)果是當前電壓信號等于或小于時間溫度比較曲線中的相應時間點的電壓信號時，控制單元不觸發(fā)各相應可控硅模塊的可控硅觸發(fā)器，以實現(xiàn)各發(fā)熱管保持通電加熱狀態(tài)。

本實用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點是：本實用新型通過記錄儀記錄并保存加工過程的帶有時間標記的熱電偶的電壓信號，形成一時間溫度比較曲線，在批量加工過程中將當前各熱電偶的電壓信號與時間溫度比較曲線的相應時間點的電壓信號比較，自動控制背板的溫度，提高靶材幫定質(zhì)量。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的電路結(jié)構(gòu)的第一部分的示意圖。

圖2是本實用新型的電路結(jié)構(gòu)的第二部分的示意圖。