[實(shí)用新型]一種靶材幫定自動控溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820246435.8
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN207908997U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李兵
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: G05D23/22
• 分類號: G05D23/22
• 代理公司: 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

1.一種靶材幫定自動控溫裝置，包括三相交流電源、溫控器、可控硅模塊、控制單元和用于安裝背板的背板加熱平臺，背板加熱平臺間隔安裝有若干發(fā)熱管，背板加熱平臺的底面對應(yīng)發(fā)熱管的位置分別安裝有熱電偶，其特征在于：若干發(fā)熱管并聯(lián)形成一發(fā)熱管組支路，可控硅模塊和發(fā)熱管組支路串聯(lián)而成一加熱支路；

三相交流電源的三個電極分別電性連接三個加熱支路的第一端，三個加熱支路的第二端電性連接于一結(jié)點(diǎn)，形成一星形連接的三相交流電源工作電路；

每個可控硅模塊分別具有至少一可控硅觸發(fā)器，控制單元的各信號輸出端分別電連接相應(yīng)的可控硅模塊的可控硅觸發(fā)器；

控制單元設(shè)置有記錄儀，溫控器的輸入端分別電連接各熱電偶，溫控器的輸出端電連接于記錄儀，記錄儀電連接控制單元，以實(shí)現(xiàn)保存帶有時間標(biāo)記的熱電偶的電流信號或電壓信號，并存儲形成一時間溫度比較曲線或時間溫度對照表；

控制單元的輸入端電連接各熱電偶，以實(shí)現(xiàn)接收各熱電偶的電流信號或電壓信號；

控制單元設(shè)置有時間溫度比較單元，控制單元電連接時間溫度比較單元，以實(shí)現(xiàn)將各熱電偶的電流信號或電壓信號與存儲在記錄儀中的時間溫度比較曲線或時間溫度對照表進(jìn)行比較。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材幫定自動控溫裝置，其特征在于：所述背板加熱平臺的背面田固定有10～20個發(fā)熱管組，且各發(fā)熱管呈矩陣排列，每個發(fā)熱管組包括3～6個發(fā)熱管，每個發(fā)熱管組中的各發(fā)熱管并聯(lián)成一所述發(fā)熱管組支路。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材幫定自動控溫裝置，其特征在于：各所述加熱支路分別通過負(fù)感器偶接有一電流表，所述三相交流電源連接有至少一電壓表。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材幫定自動控溫裝置，其特征在于：所述熱電偶向所述控制單元輸送電壓信號，所述記錄儀存儲有所述時間溫度比較曲線，時間溫度比較曲線中存儲的是帶有時間標(biāo)記的電壓信號；

在加工過程中按設(shè)定比較頻率在時間溫度比較單元中分別對各電壓信號進(jìn)行比較，

在時間溫度比較單元中的比較的結(jié)果是當(dāng)前電壓信號大于時間溫度比較曲線中的相應(yīng)時間點(diǎn)的電壓信號時，控制單元觸發(fā)相應(yīng)的可控硅模塊的可控硅觸發(fā)器，以實(shí)現(xiàn)切斷相應(yīng)發(fā)熱管的電源；

在時間溫度比較單元中的比較的結(jié)果是當(dāng)前電壓信號等于或小于時間溫度比較曲線中的相應(yīng)時間點(diǎn)的電壓信號時，控制單元不觸發(fā)各相應(yīng)可控硅模塊的可控硅觸發(fā)器，以實(shí)現(xiàn)各發(fā)熱管保持通電加熱狀態(tài)。