[實用新型]測量裝置有效
| 申請號: | 201820227022.5 | 申請日: | 2018-02-08 |
| 公開(公告)號: | CN208443354U | 公開(公告)日: | 2019-01-29 |
| 發明(設計)人: | 張騁;秦鵬 | 申請(專利權)人: | 蘇州昀冢電子科技有限公司 |
| 主分類號: | G01B21/00 | 分類號: | G01B21/00 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凱 |
| 地址: | 215300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測 測量裝置 掃描信息 控制系統 傳感器 載盤 尺寸檢測 運動組件 支撐架 掃描 本實用新型 傳感器掃描 傳感器運動 準確度 不確定性 人工操作 人為因素 自動化 傳遞 保證 | ||
1.一種測量裝置,其特征在于,包括:
支撐架;
用以掃描放置在載盤上的待檢測元件的傳感器;
運動組件,設于所述支撐架上,用以帶動所述傳感器相對載盤運動至初始位置,并帶動所述傳感器運動以掃描載盤上的待檢測元件;
以及控制系統,用以控制所述運動組件運動并接收所述傳感器的掃描信息,并根據接收到的掃描信息得出待檢測元件的外形尺寸。
2.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,所述運動組件包括設于所述支撐架上且可相對所述支撐架沿第一方向運動的X軸、設于所述支撐架上且可相對所述支撐架沿第二方向運動的Y軸、以及設于所述X軸上且可相對所述X軸沿第三方向運動的Z軸;所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向兩兩垂直;
所述傳感器固定設于所述Z軸上,載盤固定設于所述Y軸上。
3.根據權利要求2所述的測量裝置,其特征在于,所述X軸帶動所述傳感器作往復運動,所述Y軸帶動載盤作間歇運動,以使得所述傳感器逐行掃描待檢測元件。
4.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,所述傳感器為位移傳感器。
5.根據權利要求4所述的測量裝置,其特征在于,所述傳感器的采樣頻率≥1000Hz。
6.根據權利要求4所述的測量裝置,其特征在于,所述傳感器的檢測精度在0.005mm以內。
7.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,所述運動組件的運動精度在0.02mm以內,X軸運動速度為15mm/s。
8.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,還包括與所述控制系統電連接的顯示裝置,所述控制系統將待檢測元件的外形尺寸傳遞給所述顯示裝置。
9.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,還包括復位鈕,按壓所述復位鈕,所述控制系統控制所述運動組件運動以使所述傳感器相對載盤移動至初始位置。
10.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,還包括與所述控制系統電連接的輸入裝置,用以輸入待檢測元件的標準尺寸。
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