[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201820210098.7
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN208158882U
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發明（設計）人: 柏楊;張睿
• 申請（專利權）人: 瑞聲聲學科技（深圳）有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供了一種MEMS麥克風，包括具有背腔的基底及固定設置于所述基底上的電容系統，所述電容系統包括相互間隔設置的背板和振膜，所述背板包括背板絕緣層及設置于所述背板絕緣層的背板導電層，所述背板導電層的外邊緣設有缺口，所述背板絕緣層設有貫通的第一通孔，所述第一通孔包括與所述缺口對應位置設有第一聲孔，所述缺口和所述第一聲孔相連通。與相關技術相比，本實用新型提供的MEMS麥克風，背板導電層的外圍輪廓會穿過背板絕緣層的第一聲孔，從而可以減少背板的應力集中，降低背板斷裂等結構失效的風險。

【技術領域】

本實用新型涉及電聲轉換領域，尤其涉及一種MEMS麥克風。

【背景技術】

近年來移動通信技術已經得到快速發展，消費者越來越多地使用移動通信設備，例如便攜式電話、能上網的便攜式電話、個人數字助理或專用通信網絡進行通信的其他設備，其中麥克風則是其中重要的部件之一，特別是MEMS麥克風。

微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麥克風是一種利用微機械加工技術制作出來的電能換聲器，其具有體積小、頻響特性好、噪聲低等特點。隨著電子設備的小巧化、輕薄化發展，MEMS麥克風被越來越廣泛地運用到這些設備上。

相關技術中的MEMS麥克風包括具有背腔的基底及固定設置于所述基底上的電容系統，所述電容系統包括相互間隔設置的背板和振膜，所述背板包括背板絕緣層及設置于所述背板絕緣層的背板導電層。

然而相關技術中，背板導電層的外邊緣是齊平的，背板導電層的外邊緣的輪廓線不穿過任何背板孔，在MEMS加工工藝過程中，背板導電層和背板絕緣層的交界處會出現裂紋，很容易導致背板斷裂等結構失效。

因此，有必要提供一種改進的MEMS麥克風來解決上述問題。

【實用新型內容】

本實用新型要解決的技術問題是提供一種結構穩定、可靠性強的MEMS麥克風。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種MEMS麥克風，包括具有背腔的基底及固定設置于所述基底上的電容系統，所述電容系統包括相互間隔設置的背板和振膜，所述背板包括背板絕緣層及設置于所述背板絕緣層的背板導電層，所述背板導電層的外邊緣設有缺口，所述背板絕緣層設有貫通的第一通孔，所述第一通孔包括與所述缺口對應位置設有第一聲孔，所述缺口和所述第一聲孔相連通。

優選的，所述缺口設有多個，對應的，所述第一聲孔也設有多個。

優選的，所述背板導電層設有貫通的第二通孔，所述第一通孔還包括與所述第二通孔對應的第二聲孔，所述第二聲孔和第二通孔連通。

優選的，所述第一通孔還包括第三聲孔，所述第三聲孔位于所述背板導電層的外側。

優選的，所述振膜位于所述背板的靠近所述基底的一側。

優選的，所述振膜位于所述背板的遠離所述基底的一側。

優選的，所述背板絕緣層固定于所述基底。

優選的，所述背板導電層嵌設固定于所述背板絕緣層的靠近所述基底的一側。

優選的，所述背板導電層嵌設固定于所述背板絕緣層的遠離所述基底的一側。

與相關技術相比，本實用新型提供的MEMS麥克風，背板導電層的外圍輪廓會穿過背板絕緣層的第一聲孔，從而可以減少背板的應力集中，降低背板斷裂等結構失效的風險。

【附圖說明】

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖，其中：