[實用新型]MEMS麥克風有效
| 申請號： | 201820210098.7 | 申請日： | 2018-02-06 |
| 公開（公告）號： | CN208158882U | 公開（公告）日： | 2018-11-27 |
| 發明（設計）人： | 柏楊;張睿 | 申請（專利權）人： | 瑞聲聲學科技（深圳）有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳市南山區高*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 背板 絕緣層 導電層 本實用新型 電容系統 基底 通孔 缺口對應位置 固定設置 間隔設置 外圍輪廓 應力集中 外邊緣 背腔 振膜 斷裂 穿過 貫通 | ||
1.一種MEMS麥克風，包括具有背腔的基底及固定設置于所述基底上的電容系統，所述電容系統包括相互間隔設置的背板和振膜，所述背板包括背板絕緣層及設置于所述背板絕緣層的背板導電層，其特征在于：所述背板導電層的外邊緣設有缺口，所述背板絕緣層設有貫通的第一通孔，所述第一通孔包括與所述缺口對應位置設有第一聲孔，所述缺口和所述第一聲孔相連通。
2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述缺口設有多個，對應的，所述第一聲孔也設有多個。
3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述背板導電層設有貫通的第二通孔，所述第一通孔還包括與所述第二通孔對應的第二聲孔，所述第二聲孔和第二通孔連通。
4.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述第一通孔還包括第三聲孔，所述第三聲孔位于所述背板導電層的外側。
5.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述振膜位于所述背板的靠近所述基底的一側。
6.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述振膜位于所述背板的遠離所述基底的一側。
7.根據權利要求5或6所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述背板絕緣層固定于所述基底。
8.根據權利要求7所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述背板導電層嵌設固定于所述背板絕緣層的靠近所述基底的一側。
9.根據權利要求7所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述背板導電層嵌設固定于所述背板絕緣層的遠離所述基底的一側。
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