[實用新型]一種管式PECVD自動上下料裝置

有效

• 申請號: 201820204662.4
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN207904364U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 王俊朝;常紅旺;李學文;李軍陽
• 申請（專利權）人: 深圳豐盛裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513
• 代理公司: 深圳市深科信知識產權代理事務所(普通合伙) 44422
• 代理人: 萬永泉

本實用新型公開了一種管式PECVD自動上下料裝置，涉及太陽能電池設備技術領域；包括懸臂結構、手抓結構、升降結構以及相平行的兩條豎向型材，且兩條豎向型材上均設置有懸臂結構，升降結構用于驅動懸臂結構在豎向型材上往復運動；懸臂結構包括第一懸臂和第二懸臂，第一懸臂的中部安裝在豎向型材上，第一懸臂的下表面滑動安裝有第一連接板，第一連接板在第一懸臂上往復運動；第二懸臂與第一連接板固定連接，第二懸臂的下表面滑動安裝有第二連接板，第二連接板在第二懸臂上往復運動；手抓結構固定安裝在第二連接板上；本實用新型的有益效果是：增加了管式PECVD自動上下料裝置的承載能力，提高了自動上下料是速度，提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池設備技術領域，更具體的說，本實用新型涉及一種管式PECVD自動上下料裝置。

背景技術

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等離子體增強化學氣象沉積是利用低溫等離子體做能量源，硅片置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電（或另加發熱體）使硅片升溫到預定的溫度，然后通入適量的反應氣體，氣體經一秕化學和等離子體反應，在硅片上形成固態薄膜。

隨著PECVD設備技術的發展，降成本、大產能的要求越來越高，單管的產能也越來越大，石墨舟也越來越大，石墨舟重量也越來越大，對石墨舟的自動上下料提出了新的需求。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種管式PECVD自動上下料裝置，該管式PECVD自動上下料裝置能夠實現石墨舟的自動上下料運輸，提高了對石墨舟的承載能力，縮短石墨舟的上下料時間。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種管式PECVD自動上下料裝置，其改進之處在于：包括懸臂結構、手抓結構、升降結構以及相平行的兩條豎向型材，且兩條豎向型材上均設置有懸臂結構，所述的升降結構用于驅動懸臂結構在豎向型材上往復運動；

所述的懸臂結構包括第一懸臂和第二懸臂，所述第一懸臂的中部安裝在豎向型材上，第一懸臂的下表面滑動安裝有第一連接板，第一連接板在第一懸臂上往復運動；所述的第二懸臂與第一連接板固定連接，第二懸臂的下表面滑動安裝有第二連接板，所述第二連接板在第二懸臂上往復運動；

所述的手抓結構固定安裝在第二連接板上，通過該手抓結構對石墨舟進行抓取。

在上述的結構中，所述的升降結構包括升降電機和傳動桿；

所述豎向型材的底部設置有主動端，且主動端內部設置有主動輪，所述升降電機的電機軸與其中一個豎向型材的主動輪的一端相連接，所述的傳動桿連接在兩個豎向型材的主動輪之間；

所述豎向型材的頂部設置有從動端，且從動端內部設置有從動輪，所述主動輪和從動輪之間套有升降皮帶，且升降皮帶上固定安裝著一滑塊連接板，所述的懸臂結構固定在滑塊連接板上。

在上述的結構中，所述的兩條豎向型材之間還設置有上定位板和下定位板；

所述的上定位板的一端固定安裝在其中一條豎向型材的頂部，上定位板的另一端固定安裝在另一條豎向型材的頂部；所述的下定位板的一端固定安裝在其中一條豎向型材的底部，下定位板的另一端固定安裝在另一條豎向型材的底部。

在上述的結構中，所述的懸臂結構還包括一模組連接板，該模組連接板與滑塊連接板固定連接，且所述的第一懸臂固定安裝在模組連接板上。

在上述的結構中，所述的懸臂結構還包括第一橫向電機和第一橫向傳動軸，

所述第一懸臂的一端設置有第一主動輪軸，第一橫向電機與第一主動輪軸的一端固定連接，所述第一橫向傳動軸固定連接在兩個第一懸臂的第一主動輪軸之間；