[實用新型]一種管式PECVD自動上下料裝置

有效

• 申請號: 201820204662.4
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN207904364U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 王俊朝;常紅旺;李學文;李軍陽
• 申請（專利權）人: 深圳豐盛裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513
• 代理公司: 深圳市深科信知識產權代理事務所(普通合伙) 44422
• 代理人: 萬永泉

1.一種管式PECVD自動上下料裝置，其特征在于：包括懸臂結構、手抓結構、升降結構以及相平行的兩條豎向型材，且兩條豎向型材上均設置有懸臂結構，所述的升降結構用于驅動懸臂結構在豎向型材上往復運動；

所述的懸臂結構包括第一懸臂和第二懸臂，所述第一懸臂的中部安裝在豎向型材上，第一懸臂的下表面滑動安裝有第一連接板，第一連接板在第一懸臂上往復運動；所述的第二懸臂與第一連接板固定連接，第二懸臂的下表面滑動安裝有第二連接板，所述第二連接板在第二懸臂上往復運動；

所述的手抓結構固定安裝在第二連接板上，通過該手抓結構對石墨舟進行抓取。

2.根據權利要求1所述的一種管式PECVD自動上下料裝置，其特征在于：所述的升降結構包括升降電機和傳動桿；

所述豎向型材的底部設置有主動端，且主動端內部設置有主動輪，所述升降電機的電機軸與其中一個豎向型材的主動輪的一端相連接，所述的傳動桿連接在兩個豎向型材的主動輪之間；

所述豎向型材的頂部設置有從動端，且從動端內部設置有從動輪，所述主動輪和從動輪之間套有升降皮帶，且升降皮帶上固定安裝著一滑塊連接板，所述的懸臂結構固定在滑塊連接板上。

3.根據權利要求2所述的一種管式PECVD自動上下料裝置，其特征在于：所述的兩條豎向型材之間還設置有上定位板和下定位板；

所述的上定位板的一端固定安裝在其中一條豎向型材的頂部，上定位板的另一端固定安裝在另一條豎向型材的頂部；所述的下定位板的一端固定安裝在其中一條豎向型材的底部，下定位板的另一端固定安裝在另一條豎向型材的底部。

4.根據權利要求2所述的一種管式PECVD自動上下料裝置，其特征在于：所述的懸臂結構還包括一模組連接板，該模組連接板與滑塊連接板固定連接，且所述的第一懸臂固定安裝在模組連接板上。

5.根據權利要求1所述的一種管式PECVD自動上下料裝置，其特征在于：所述的懸臂結構還包括第一橫向電機和第一橫向傳動軸，

所述第一懸臂的一端設置有第一主動輪軸，第一橫向電機與第一主動輪軸的一端固定連接，所述第一橫向傳動軸固定連接在兩個第一懸臂的第一主動輪軸之間；

所述的第一懸臂內部設置有主動輪、從動輪以及傳動皮帶，第一主動輪軸固定在主動輪中心處，傳動皮帶套在主動輪和從動輪上，且所述的第一連接板固定安裝在第一懸臂內部的傳動皮帶上。

6.根據權利要求5所述的一種管式PECVD自動上下料裝置，其特征在于：所述的懸臂結構還包括第二橫向電機以及第二橫向傳動軸；

所述第二懸臂的一端設置有第二主動輪軸，第二橫向電機與第二主動輪軸的一端固定連接，所述第二橫向傳動軸固定連接在兩個第二懸臂的第二主動輪軸之間；

所述的第二懸臂內部設置有主動輪、從動輪以及傳動皮帶，第二主動輪軸固定在主動輪中心處，傳動皮帶套在主動輪和從動輪上，且所述的第二連接板固定安裝在第二懸臂內部的傳動皮帶上。

7.根據權利要求1所述的一種管式PECVD自動上下料裝置，其特征在于：所述的手抓結構包括旋轉連接板、抓取板以及傳感器壓板；

所述的旋轉連接板與第二連接板固定連接，所述的抓取板位于旋轉連接板下方，傳感器壓板固定于抓取板上貫穿的通孔內。