[實用新型]一種等離子發生器

有效

• 申請號: 201820192556.9
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN207995482U
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發明（設計）人: 蔡衛
• 申請（專利權）人: 深圳市誠峰智造有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務所 44275
• 代理人: 張明

本實用新型公開了一種等離子發生器，包括石英管、電極棒、第一主體和第二主體，所述電極棒容置于所述石英管內；所述石英管的側壁設有開口，且所述開口的長度等于石英管的長度；所述第一主體和第二主體沿石英管的徑向相對于石英管對稱分布；所述第一主體和第二主體上均設置有導流通道，所述導流通道的出口端靠近所述石英管的外壁設置，以使氣流能夠沿石英管的外壁流動。本實用新型設計開槽式的石英管，可防止在冷熱變化中石英管發生熱脹冷縮而引起的爆裂；本實用新型氣流的出口可沿整個石英管的長度方向排布，電離出的等離子束比較長，處理大面積工件時效率更高；石英管外壁的導流作用也使得整個裝置工作時的噪音更小。

技術領域

本實用新型涉及等離子技術領域，尤其涉及一種等離子發生器。

背景技術

目前，公知的低溫等離子發生裝置采用石英等作為介質材料，在未工作時，石英管為常溫狀態，在工作過程中，由于石英管接觸高溫氣流急劇升溫容易發生炸裂，導致等離子發生裝置損壞。而且在現有技術中，電離氣體也都是在石英管內部流動發生電離，等離子束的出口基本都是石英管的端口，導致等離子束的工作面較小，對于大面積工件來說，現有的這些等離子發生裝置的工作效率太低。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種等離子發生器，不僅能夠防止石英管損壞，而且具有較高的工作效率。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：

一種等離子發生器，包括石英管、電極棒、第一主體和第二主體，所述電極棒容置于所述石英管內；所述石英管的側壁設有開口，且所述開口的長度等于石英管的長度；所述第一主體和第二主體沿石英管的徑向相對于石英管對稱分布；所述第一主體和第二主體上均設置有導流通道，所述導流通道的出口端靠近所述石英管的外壁設置，以使氣流能夠沿石英管的外壁流動。

進一步的，所述電極棒內設置有冷卻流體通道，所述冷卻流體通道的長度方向與所述電極棒的長度方向一致；所述冷卻流體通道的入口和出口分別靠近所述電極棒的兩端設置。

進一步的，還包括電源輸入端子和電極連接件，所述電極連接件位于所述開口內且與所述電極棒相連接，所述電極連接件與所述電源輸入端子電連接。

進一步的，所述電極連接件為T型件，所述T型件的底端位于所述開口內，所述T型件的頂端電連接于電源輸入端子。

進一步的，還包括蓋板和電極固定件，所述蓋板蓋設于所述第一主體和第二主體的頂部，所述電極固定件固定于所述蓋板的底部且位于第一主體和第二主體之間，所述T型件的頂端固定于所述電極固定件上。

進一步的，所述第一主體和第二主體均包括布氣底板，所述布氣底板上設置有通氣槽，所述通氣槽的長度方向與石英管的長度方向平行；所述通氣槽靠近石英管的一側側壁上設置有多個出氣孔，所述出氣孔用于將通氣槽內的氣流導出至石英管外壁上。

進一步的，所述多個出氣孔沿石英管的長度方向均勻分布。

進一步的，所述第一主體和第二主體均包括支撐件，所述支撐件設置于所述布氣底板的頂部，所述支撐件上設置有輸氣通孔，所述輸氣通孔的底端與所述通氣槽相連通。

進一步的，還包括布氣管道，所述布氣管道連接于所述輸氣通孔的頂端。

進一步的，所述第一主體和石英管之間以及第二主體和石英管之間分別設置有密封墊，所述密封圈位于所述導流通道的出口端的上方。