[實用新型]一種等離子發(fā)生器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820192556.9 | 申請日： | 2018-02-02 |
| 公開（公告）號： | CN207995482U | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔡衛(wèi) | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市誠峰智造有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/24 | 分類號： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳市博銳專利事務(wù)所 44275 | 代理人： | 張明 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石英管 本實用新型 等離子發(fā)生器 導流通道 電極棒 外壁 開口 長度方向排布 大面積工件 等離子束 對稱分布 徑向相對 冷熱變化 熱脹冷縮 外壁設(shè)置 電離 出口端 開槽式 爆裂 側(cè)壁 導流 噪音 流動 出口 | ||
1.一種等離子發(fā)生器，其特征在于，包括石英管、電極棒、第一主體和第二主體，所述電極棒容置于所述石英管內(nèi)；所述石英管的側(cè)壁設(shè)有開口，且所述開口的長度等于石英管的長度；所述第一主體和第二主體沿石英管的徑向相對于石英管對稱分布；所述第一主體和第二主體上均設(shè)置有導流通道，所述導流通道的出口端靠近所述石英管的外壁設(shè)置，以使氣流能夠沿石英管的外壁流動。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，所述電極棒內(nèi)設(shè)置有冷卻流體通道，所述冷卻流體通道的長度方向與所述電極棒的長度方向一致；所述冷卻流體通道的入口和出口分別靠近所述電極棒的兩端設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，還包括電源輸入端子和電極連接件，所述電極連接件位于所述開口內(nèi)且與所述電極棒相連接，所述電極連接件與所述電源輸入端子電連接。
4.如權(quán)利要求3所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，所述電極連接件為T型件，所述T型件的底端位于所述開口內(nèi)，所述T型件的頂端電連接于電源輸入端子。
5.如權(quán)利要求4所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，還包括蓋板和電極固定件，所述蓋板蓋設(shè)于所述第一主體和第二主體的頂部，所述電極固定件固定于所述蓋板的底部且位于第一主體和第二主體之間，所述T型件的頂端固定于所述電極固定件上。
6.如權(quán)利要求1所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，所述第一主體和第二主體均包括布氣底板，所述布氣底板上設(shè)置有通氣槽，所述通氣槽的長度方向與石英管的長度方向平行；所述通氣槽靠近石英管的一側(cè)側(cè)壁上設(shè)置有多個出氣孔，所述出氣孔用于將通氣槽內(nèi)的氣流導出至石英管外壁上。
7.如權(quán)利要求6所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，所述多個出氣孔沿石英管的長度方向均勻分布。
8.如權(quán)利要求6所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，所述第一主體和第二主體均包括支撐件，所述支撐件設(shè)置于所述布氣底板的頂部，所述支撐件上設(shè)置有輸氣通孔，所述輸氣通孔的底端與所述通氣槽相連通。
9.如權(quán)利要求8所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，還包括布氣管道，所述布氣管道連接于所述輸氣通孔的頂端。
10.如權(quán)利要求1所述的等離子發(fā)生器，其特征在于，所述第一主體和石英管之間以及第二主體和石英管之間分別設(shè)置有密封墊，所述密封圈位于所述導流通道的出口端的上方。
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