[實用新型]一種激光濺射離子源

有效

• 申請號: 201820178108.3
• 申請日: 2018-02-01
• 公開（公告）號: CN207752964U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 徐春風;胡修穩;張鋒
• 申請（專利權）人: 合肥美亞光電技術股份有限公司
• 主分類號: H01J49/14
• 分類號: H01J49/14;H01J49/10
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 丁瑞瑞

1.一種激光濺射離子源，包括靶體、離子通道、脈沖閥、激光器，所述離子通道與脈沖閥固定在安裝座上，所述的離子通道連接脈沖閥，所述的離子通道上設有通光孔，所述的激光器出射的激光通過通光孔打在靶體的轟擊面，其特征在于，所述靶體外周套設有靶體套筒，靶體套筒通過靶體安裝座與驅動機構連接，所述驅動機構包括帶動靶體橫向往復移動的第一驅動機構和帶動靶體縱向往復移動的第二驅動機構；

所述靶體套筒內還設有彈力單元，所述彈力單元的一端與遠離靶體轟擊面的一端抵接，另一端與靶體安裝座抵接，實現靶體的轟擊面緊貼離子通道。

2.根據權利要求1所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述靶體套筒設有軸向且向內的至少一個凸緣，所述靶體上開設有與上述凸緣相配合的軸向的凹槽，所述靶體沿靶體套筒長度方向套設在靶體套筒內。

3.根據權利要求2所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述靶體在遠離靶體轟擊面的一端設有可拆卸的裝配體，所述裝配體與所述彈力單元的一端抵接。

4.根據權利要求3所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述裝配體為中空腔體結構，所述靶體在遠離靶體轟擊面的一端設有一桿，所述桿插在所述中空腔體結構中并通過緊定件固定。

5.根據權利要求3所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述裝配體上設有凹槽，所述凹槽與靶體套筒的凸緣相配合，所述裝配體沿靶體套筒凸緣長度方向安裝在靶體套筒中。

6.根據權利要求1至5任一所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述第一驅動機構包括X軸步進電機、X軸絲杠導軌、X軸推進擋塊和X軸滑臺，所述X軸步進電機的主軸通過聯軸器連接X軸絲杠導軌中的絲杠，所述的X軸推進擋塊設置在X軸絲杠導軌中的絲杠上，沿著絲杠軸向移動，所述的X軸滑臺固定在X軸推進擋塊上；

所述的第二驅動機構包括Y軸步進電機、Y軸絲杠導軌、Y軸推進擋塊和Y軸滑臺，所述的Y軸步進電機的主軸通過聯軸器連接Y軸絲杠導軌中的絲杠，所述的Y軸推進擋塊設置在Y軸絲杠導軌中的絲杠上，沿著絲杠軸向移動，所述的Y軸滑臺固定在Y軸推進擋塊上；

所述的X軸步進電機和Y軸步進電機設有電機控制程序；

所述的Y軸步進電機、Y軸絲杠導軌、Y軸推進擋塊、Y軸滑臺組成的第二驅動機構垂直安裝在X軸滑臺上，所述第二驅動機構通過X軸滑臺在空間坐標系的X軸方向上移動；

所述的Y軸滑臺連接靶體安裝座，所述靶體安裝座通過Y軸滑臺在空間坐標系的X軸和Y軸方向上移動。

7.根據權利要求6所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述的X軸滑臺與Y軸滑臺上設置有若干裝配孔，所述的Y軸絲杠導軌通過X軸滑臺上的裝配孔連接X軸滑臺，所述的Y軸滑臺通過Y軸滑臺上的裝配孔連接靶體安裝座。

8.根據權利要求1所述的一種激光濺射離子源的發生裝置，其特征在于，所述的離子通道表面設置有凸臺，所述的凸臺組成靶體的移動區域，所述的靶體端面貼合離子通道。

9.根據權利要求8所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述的移動區域以通光孔為中心。

10.根據權利要求1所述的激光濺射離子源，其特征在于，所述的通光孔與激光器之間設置有金屬薄片，所述的金屬薄片通過薄片壓圈固定在離子通道上。