[實用新型]一種用于磁芯鍍膜的真空鍍膜設備

有效

• 申請號: 201820174857.9
• 申請日: 2018-02-01
• 公開（公告）號: CN208023082U
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發明（設計）人: 錢棟力
• 申請（專利權）人: 浙江通達磁業有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于磁芯鍍膜的真空鍍膜設備，由鍍膜設備(1)構成，其特征在于：所述鍍膜設備(1)由鍍膜箱(2)和加熱設備(3)構成，所述加熱設備(3)位于鍍膜箱(2)的底端且通過固定架與鍍膜箱(1)固定連接，所述鍍膜箱(2)頂部設有放電箱(4)，所述放電箱(4)內部設有離子發生器(7)，所述鍍膜箱(2)側壁上設有真空泵(5)，所述真空泵(5)內的旋轉葉通過軸承于真空泵電機連接，所述鍍膜箱(2)內部設有基片夾具(8)和坩堝(10)，所述基片夾具(8)的一端上設有基片(9)，另一端通過導電裝置與離子發生器(7)連接，所述坩堝(10)通過導熱裝置與加熱設備(3)內部的加熱器(11)連接；

所述加熱設備(3)外部設有控制器(6)，所述控制器(6)外部設有顯示屏、控制按鍵，所述控制器(6)內部設有控制芯片(12)、電路控制板(13)和顯示解調器(14)，所述控制芯片(12)通過集成線分別與控制按鍵、真空泵電機、離子發生器(7)、加熱器(11)、電路控制板(13)和顯示解調器(14)，所述顯示解調器(14)通過視頻線與顯示屏連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于磁芯鍍膜的真空鍍膜設備,其特征在于：所述控制芯片(12)內部設有定時模塊、控制模塊和解析模塊。

3.根據權利要求1所述的一種用于磁芯鍍膜的真空鍍膜設備,其特征在于：所述鍍膜箱(2)和加熱設備(3)上均設有橡膠絕緣膜套，所述橡膠絕緣膜套均通過螺絲固定于鍍膜箱(2)和加熱設備(3)外壁上。

4.根據權利要求1所述的一種用于磁芯鍍膜的真空鍍膜設備，其特征在于：所述與控制芯片(12)連接的集成線內部由電源連接、信息傳輸線和信息接收線構成。

5.根據權利要求1所述的一種用于磁芯鍍膜的真空鍍膜設備，其特征在于：所述電路控制板(13)內部板體設有電路保護裝置。