[實用新型]氣相沉積爐尾氣處理系統

有效

• 申請號: 201820171984.3
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN208065964U
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 董家海
• 申請（專利權）人: 浙江諾華陶瓷有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D45/02;C23C16/44
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 劉計成

本實用新型提供一種氣相沉積爐尾氣處理系統，包括爐體，所述爐體上設有爐體進氣口和爐體出氣口，所述爐體出氣口與第一過濾罐的進氣口連接，所述第一過濾罐的出氣口通過第一真空泵與第二過濾罐的進氣口連接，所述第二過濾罐的出氣口通過第二真空泵與第三過濾罐連接，所述第一過濾罐、第二過濾罐、第三過濾罐為空罐體結構。該氣相沉積爐尾氣處理系統中能夠有效防止尾氣在管道內及真空泵上沉積，可有效延長設備的使用壽命，同時過濾罐采用空的罐體結構，無需添加任何化學試劑，罐體可重復使用，尾氣沉積物也能夠循環利用，可有效降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及氣相沉積爐，特別涉及一種用于氣相沉積爐的尾氣處理系統。

背景技術

學氣相沉積爐是利用化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition）的原理， 將參與化學反應的物質，加熱到一定工藝溫度，在真空泵抽氣系統產生的引力作用下，引至沉積室進行反應、沉積，生成新的固態物質。氣相沉積爐主要由爐本 體（含爐底、下爐體、上爐體及隔熱屏）、加熱器、過濾系統、真空系統等組成。氣相沉積爐排氣系統隨著尾氣在排氣系統中流動，其溫度逐漸降低 ；隨著尾氣的溫度降低，除過尾氣中難以液化的 分子量很小的部分烴類以氣體形式排出外，其余分子量較大的烴類尾氣部分形成粘度很大的液體，附著在排氣系統的管道、焦油罐、閥門、真空泵等器件內壁上，這樣就會影響設備的正常使用。

中國發明專利（專利號：201210078238.7）公開了一種化學氣相沉積爐用尾氣處理裝置，焦油過濾器的入口通過排氣管道與爐體的排氣口連通。焦油過濾器的出口通過管道與波紋管的入口端連通。在焦油過濾器與爐體之間有入口壓力計；在焦油過濾器的出口與波紋管之間有出口壓力計。所述波紋管的出口端與真空泵的進氣口通過管道連通；在波紋管與真空泵之間的管道上依次安裝有伺服閥和截止閥。上述這種尾氣處理裝置雖然能夠在一定程度上解決粘度大的液體粘連的問題，但由于真空泵的吸力有限，因此并不能完全解決該技術問題。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種能夠對氣相沉積爐尾氣進行有效過濾，同時能保證尾氣處理裝置長時間正常工作的尾氣處理系統。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種氣相沉積爐尾氣處理系統，包括爐體，所述爐體上設有爐體進氣口和爐體出氣口，所述爐體出氣口與第一過濾罐的進氣口連接，所述第一過濾罐的出氣口通過第一真空泵與第二過濾罐的進氣口連接，所述第二過濾罐的出氣口通過第二真空泵與第三過濾罐連接，所述第一過濾罐、第二過濾罐、第三過濾罐為空罐體結構。

優選的，所述第一真空泵為羅茨真空泵，第二真空泵為螺桿真空泵。

優選的，所述爐體進氣口與第一過濾罐的進氣口之間的連接管道上設有手動真空插板閥。

優選的，所述第二真空泵的進氣端設有單向閥。

優選的，所述爐體出氣口與第一過濾罐的進氣口之間通過波紋管連接。

優選的，所述第一過濾罐與所述第一真空泵之間通過活套法蘭連接，所述第二過濾罐與所述第二真空泵之間通過活套法蘭連接。

優選的，所述爐體支撐在機架上，所述機架底部設有減震墊，所述爐體與所述機架的連接處設有減震墊。

如上所述，本氣相沉積爐尾氣處理系統具有以下有益效果：該氣相沉積爐尾氣處理系統設置三個過濾罐、兩級真空泵，且過濾罐均采用空罐體，在使用時兩級真空泵能有效提高尾氣在管道內的流動速度，特別是在系統末端的流動速度，可防止尾氣在管道及真空泵上沉積，而設計三個空的過濾罐，這樣當尾氣進入到過濾罐內時，由于過濾罐的體積較大，因此尾氣經過過濾罐時流速會減慢，這樣尾氣就可在過濾罐中沉積，從而起到較好的尾氣凈化作用。該氣相沉積爐尾氣處理系統中能夠有效防止尾氣在管道內及真空泵上沉積，可有效延長設備的使用壽命，同時過濾罐采用空的罐體結構，無需添加任何化學試劑，罐體可重復使用，尾氣沉積物也能夠循環利用，可有效降低生產成本。