[實用新型]氣相沉積爐尾氣處理系統

有效

• 申請號: 201820171984.3
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN208065964U
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 董家海
• 申請（專利權）人: 浙江諾華陶瓷有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D45/02;C23C16/44
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 劉計成

1.一種氣相沉積爐尾氣處理系統，包括爐體，所述爐體上設有爐體進氣口和爐體出氣口，其特征在于：所述爐體出氣口與第一過濾罐的進氣口連接，所述第一過濾罐的出氣口通過第一真空泵與第二過濾罐的進氣口連接，所述第二過濾罐的出氣口通過第二真空泵與第三過濾罐連接，所述第一過濾罐、第二過濾罐、第三過濾罐為空罐體結構。

2.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣處理系統，其特征在于：所述第一真空泵為羅茨真空泵，第二真空泵為螺桿真空泵。

3.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣處理系統，其特征在于：所述爐體進氣口與第一過濾罐的進氣口之間的連接管道上設有手動真空插板閥。

4.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣處理系統，其特征在于：所述第二真空泵的進氣端設有單向閥。

5.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣處理系統，其特征在于：所述爐體出氣口與第一過濾罐的進氣口之間通過波紋管連接。

6.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣處理系統，其特征在于：所述第一過濾罐與所述第一真空泵之間通過活套法蘭連接，所述第二過濾罐與所述第二真空泵之間通過活套法蘭連接。

7.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣處理系統，其特征在于：所述爐體支撐在機架上，所述機架底部設有減震墊，所述爐體與所述機架的連接處設有減震墊。