[實用新型]一種半導(dǎo)體元器件檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820171247.3
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN207764344U
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉德猛
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州本之智能系統(tǒng)有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 關(guān)家強

本實用新型涉及測量技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種半導(dǎo)體元器件檢測裝置，包括：底座、支架、X向移動機構(gòu)、Y向移動機構(gòu)、相機、傳送機構(gòu)、載盤和取件機構(gòu)，所述X向移動機構(gòu)通過支架固定于底座上，所述Y向移動機構(gòu)滑動設(shè)置于X向移動該機構(gòu)上，所述相機通過固定架滑動設(shè)置于Y向移動機構(gòu)上，所述傳送機構(gòu)設(shè)置于底座上，所述載盤放置于傳送機構(gòu)上，所述取件機構(gòu)設(shè)置于固定架上；所述取件機構(gòu)包括第一氣缸和吸頭，所述第一氣缸設(shè)置于固定架上，所述吸頭在第一氣缸的驅(qū)動下上下移動。本實用新型具有檢測效率高、節(jié)省人力成本的優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種半導(dǎo)體元器件檢測裝置。

背景技術(shù)

隨著科技的發(fā)展，半導(dǎo)體元器件被廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)。而為了確保半導(dǎo)體元器件的合格率，通常要對其尺寸是否符合要求、是否有磨損等表面缺陷進(jìn)行檢測。

而現(xiàn)有技術(shù)中的檢測仍然是每個半導(dǎo)體元器件逐一單獨檢測，而且檢測到不良品時需人工進(jìn)行剔除，這不僅效率低，而且浪費人力，提高了生產(chǎn)成本。

實用新型內(nèi)容

本實用新型主要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的半導(dǎo)體元器件表面缺陷檢測效率低、浪費人力、生產(chǎn)成本高的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的一個技術(shù)方案是：提供了一種半導(dǎo)體元器件檢測裝置，包括：底座、支架、X向移動機構(gòu)、Y向移動機構(gòu)、相機、傳送機構(gòu)、載盤和取件機構(gòu)，所述X向移動機構(gòu)通過支架固定于底座上，所述Y向移動機構(gòu)滑動設(shè)置于X向移動該機構(gòu)上，所述相機通過固定架滑動設(shè)置于Y向移動機構(gòu)上，所述傳送機構(gòu)設(shè)置于底座上，所述載盤放置于傳送機構(gòu)上，所述取件機構(gòu)設(shè)置于固定架上；所述取件機構(gòu)包括第一氣缸和吸頭，所述第一氣缸設(shè)置于固定架上，所述吸頭在第一氣缸的驅(qū)動下上下移動。本實用新型中的檢測裝置，可在載盤上放置幾十個甚至更多的半導(dǎo)體元器件，而后通過相機拍照后對其表面缺陷進(jìn)行檢測，當(dāng)檢測出不良品時，通過移動機構(gòu)帶動取件機構(gòu)將不良品從載盤上取出剔除，從而實現(xiàn)半導(dǎo)體元器件表面缺陷的自動檢測和不良品的自動剔除，提高了檢測效率，節(jié)省了人力成本。

優(yōu)選的，所述傳送機構(gòu)由平行設(shè)置于的左右兩個傳送單元構(gòu)成，所述傳送單元包括固定座和設(shè)置于固定座上的第一驅(qū)動設(shè)備、滑輪組和傳送帶，所述固定座設(shè)置于底座上，其中一個所述傳送單元的傳送帶外側(cè)設(shè)有由第二氣缸驅(qū)動的夾板，所述夾板的L向邊沿位于傳送帶上方，且與所述夾板相對應(yīng)的另一側(cè)傳送帶上設(shè)有壓板。為了使相機對半導(dǎo)體元器件拍照時更加清晰，進(jìn)而降低檢測失誤率，采用左右兩個傳送機構(gòu)同步傳送，當(dāng)載盤移動到相機下方時，通過夾板與壓板將載盤固定不動，使得相機能夠穩(wěn)定拍照，同時，檢測出不良品時，取件機構(gòu)在移動機構(gòu)帶動下進(jìn)行二維移動，可以很方便地吸取下不良品。

優(yōu)選的，所述兩側(cè)傳送帶上除夾板處均設(shè)有壓板。兩個傳送帶全程都具有壓板，從而在載盤傳送過程中既起到了導(dǎo)向作用，還起到規(guī)整載盤位置的作用，由于傳送帶是左右分開的，兩傳送帶之間具有交到間隙，以上機構(gòu)既防止了載盤意外從傳動機構(gòu)上掉落，也規(guī)整載盤位置，便于夾板與壓板夾住，減少在夾住載盤時對在載盤的晃動。

優(yōu)選的，其中一所述傳送單元設(shè)置于底座上的滑軌上，所述滑軌延伸方向垂直于傳送帶移動方向，所述傳送單元在第二驅(qū)動設(shè)備的驅(qū)動下可沿滑軌移動。通過調(diào)整兩傳送單元之間的距離，使之能夠根據(jù)需要放入不同尺寸的載盤，提高了裝置的適用性。

優(yōu)選的，所述載盤底部設(shè)有滑塊。在載盤被夾板與壓板夾住時，傳送帶不停轉(zhuǎn)，防止傳送單元頻繁停啟縮短設(shè)備使用壽命，降低維護(hù)成本。

優(yōu)選的，所述夾板外側(cè)設(shè)有固定于固定座上的限位塊，所述傳送機構(gòu)側(cè)設(shè)有固定于底座上的收集箱。限位塊能夠有效防止夾板向外移動距離過大，造成在完成夾住動作時行程過長，使得載盤移動到超出相機拍照范圍，造成誤檢。

優(yōu)選的，所述傳送機構(gòu)上設(shè)有到位傳感器。通過到位傳感器能夠準(zhǔn)確識別到載盤到傳送到相機的拍攝區(qū)域，同時，夾板與壓板夾住載盤。