[實用新型]樣品架

有效

• 申請號: 201820171028.5
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN207818543U
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 郭邐達;趙樹利;葉亞寬;楊立紅
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 劉誠

本實用新型涉及樣品架，所述樣品架包括限位架、托架和立架，所述限位架以及所述托架連接于所述立架并通過所述立架相互間隔設置；其中，所述限位架包括第一框體，所述第一框體內開設有第一開口，所述第一框體形成所述第一開口的兩相對側內壁上分別形成有至少一限位凸起，每一所述限位凸起的至少一側形成有限位槽，所述第一框體兩相對內側的所述限位槽一一對應。本實用新型樣品架結構簡單，可同時清洗和處理多個樣片，樣品架中限位架和托架的相互間隔設置減少了樣品架的鏤空和網格部分，在多步處理過程中，不易殘留上一步用到的溶液，樣品架方便取出、拆裝和清洗，給實驗室規模的半導體材料研發和制備帶來了極大的便利。

技術領域

本實用新型涉及用于半導體樣片加工生產中裝載樣片的裝置技術領域，特別是涉及一種樣品架。

背景技術

隨著科學技術的發展，硅片、玻璃等樣片廣泛應用于半導體行業。在研發和制備半導體器件的過程中，樣片可能需要經歷高溫、酸、堿、有機溶劑的處理。因此，需要一種耐高溫、耐強酸堿，并且可以方便一次清洗或處理多個樣片的樣品架，從而加快生產效率、降低碎片率和生產成本。

但是，現有的樣品架存在結構復雜，鏤空和網格部分多，在多步清洗時，死角容易殘留液體的問題，不方便拆卸和清洗。

實用新型內容

基于此，有必要針對上述問題，提供一種結構簡單、便于拆裝和清洗的樣品架。

一種樣品架，所述樣品架包括限位架、托架和立架，所述限位架以及所述托架連接于所述立架并通過所述立架相互間隔設置；

其中，所述限位架包括第一框體，所述第一框體內開設有第一開口，所述第一框體形成所述第一開口的兩相對側內壁上分別形成有至少一限位凸起，每一所述限位凸起的至少一側形成有限位槽，所述第一框體兩相對內側的所述限位槽一一對應。

上述樣品架結構簡單，可同時清洗和處理多個樣片。其中，限位架和托架的相互間隔設置減少了樣品架的鏤空和網格部分，在多步處理過程中，不易殘留上一步用到的溶液，樣品架方便清洗。而且，上述的樣品架設置了立架，方便取出和對樣品架進行拆裝，給實驗室規模的半導體材料研發和制備帶來了極大的便利。

在其中一個實施例中，所述限位架平行于所述托架。

在其中一個實施例中，所述限位槽的形狀為矩形、V形、U形中的任意一種。

在其中一個實施例中，所述限位槽等間距排列。

在其中一個實施例中，所述第一開口具有至少兩個寬度不同的部分。

在其中一個實施例中，所述第一開口為寬度漸變的開口。

在其中一個實施例中，所述限位凸起的末端具有倒角。

在其中一個實施例中，所述托架包括第二框體，所述第二框體內開設有第二開口以及自所述第二框體表面凹陷的至少一凹槽，所述凹槽與所述限位槽一一對應。當樣品架從溶液中取出時，由于托架的第二框體內開設有第二開口，所以托架中不會殘留溶液。

在其中一個實施例中，所述凹槽的形狀與所述限位槽的形狀相同；及/或

所述第二開口與所述第一開口的形狀相同。

在其中一個實施例中，所述凹槽的底面向所述第二開口方向傾斜。當樣品架從溶液中取出時，由于凹槽底面向第二開口方向傾斜，所以凹槽中的溶液會沿傾斜方向通過托架的第二開口部位流出，不會殘留在凹槽中。