[實用新型]低壓擴(kuò)散通源裝置、PN結(jié)制作設(shè)備以及電池生產(chǎn)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820160642.1
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN207883657U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 和江變;張鴻飛
• 申請（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古日月太陽能科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L21/223
• 分類號: H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 王衛(wèi)忠;袁禮君

本實用新型涉及光伏電池制造技術(shù)，提出一種低壓擴(kuò)散通源裝置、PN結(jié)制作設(shè)備以及電池生產(chǎn)系統(tǒng)，低壓擴(kuò)散通源裝置包括：源瓶、進(jìn)氣管、出氣管。源瓶用于儲存摻雜源液；進(jìn)氣管第一端與惰性氣源連接，第二端通過源瓶的進(jìn)口伸入摻雜源液的液面以下；出氣管第一端與低壓擴(kuò)散裝置連接，第二端通過源瓶的出口伸入摻雜源液的液面以上；其中，出氣管與進(jìn)氣管上分別設(shè)置有進(jìn)氣閥和出氣閥，且進(jìn)氣閥與出氣閥的開關(guān)狀態(tài)相同。本實用新型通過將進(jìn)氣閥與出氣閥的開關(guān)狀態(tài)保持一致，一方面，避免了源瓶長期處于負(fù)壓狀態(tài)，降低了源瓶損壞的事故概率；另一方面，避免了在非通源狀態(tài)下，源瓶內(nèi)的摻雜源在負(fù)壓作用下進(jìn)入低壓擴(kuò)散裝置，導(dǎo)致低壓擴(kuò)散裝置內(nèi)產(chǎn)品報廢。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光伏電池制造技術(shù)，尤其涉及一種低壓擴(kuò)散通源裝置、PN結(jié)制作設(shè)備及電池生產(chǎn)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

光伏發(fā)電的主要原理是半導(dǎo)體的光電效應(yīng)。光子照射到金屬或半導(dǎo)體上時，它的能量可以被半導(dǎo)體或金屬中某個電子全部吸收，電子吸收的能量足夠大，能克服半導(dǎo)體或金屬內(nèi)部引力做功，離開半導(dǎo)體或金屬表面逃逸出來，成為光電子。例如，硅原子有4個外層電子，如果在純硅中摻入有5個外層電子的原子如磷原子，就成為N型半導(dǎo)體；若在純硅中摻入有3個外層電子的原子如硼原子，形成P型半導(dǎo)體。當(dāng)P型和N型結(jié)合在一起時，接觸面就會形成電勢差，成為太陽能電池。當(dāng)太陽光照射到PN結(jié)后，空穴由P極區(qū)往N極區(qū)移動，電子由N極區(qū)向P極區(qū)移動，形成電流。

相關(guān)技術(shù)中，在進(jìn)行上述摻雜過程中，一種方式是采用低壓擴(kuò)散的方式，如圖1、圖2所示，圖1為相關(guān)技術(shù)中低壓擴(kuò)散原理圖。圖2為相關(guān)技術(shù)中低壓擴(kuò)散通源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，硅片位于低壓擴(kuò)散裝置1中，低壓擴(kuò)散裝置1的進(jìn)氣管2與源瓶3的出氣管4連通，低壓擴(kuò)散裝置1的尾氣管5與真空泵6連通，真空泵6對低壓擴(kuò)散裝置1進(jìn)行抽氣使得低壓擴(kuò)散裝置內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)。

然而，相關(guān)技術(shù)中，由于本領(lǐng)域中整套低壓擴(kuò)散設(shè)備一般是采用電腦程序進(jìn)行自動控制，出于對于真空泵以及低壓擴(kuò)散裝置聯(lián)動控制穩(wěn)定性的信任，所以僅在源瓶3進(jìn)氣管7設(shè)有控制閥8，源瓶3出氣4管未設(shè)控制閥，由于低壓擴(kuò)散裝置與源瓶為常通狀態(tài)，若整個系統(tǒng)的自動控制程序出錯，導(dǎo)致真空泵運轉(zhuǎn)不正常。一方面，低壓擴(kuò)散裝置造成的非正常壓力狀態(tài)會傳遞到源瓶中，有可能引起源瓶破碎。另一方面，若低壓擴(kuò)散裝置在進(jìn)舟或出舟工序充氣過壓，會在源瓶內(nèi)形成相對高壓，由于進(jìn)氣管7內(nèi)是低壓氣體，可能導(dǎo)致?lián)诫s源液被壓入進(jìn)氣管7內(nèi)，也有可能由于水平溢流到達(dá)控制閥8的位置，從而有可能在更換源瓶時發(fā)生泄漏，或者在控制閥8打開時，摻雜源液擴(kuò)散到外部供氣管，也可能發(fā)生泄漏。

需要說明的是，在上述背景技術(shù)部分公開的信息僅用于加強(qiáng)對本實用新型的背景的理解，因此可以包括不構(gòu)成對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

實用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)的低壓擴(kuò)散通源裝置中源瓶保護(hù)措施不足的問題，本實用新型的目的在于提供一種低壓擴(kuò)散通源裝置、PN結(jié)制作設(shè)備及電池生產(chǎn)系統(tǒng)，該低壓擴(kuò)散通源裝置通過在出氣管上設(shè)置與進(jìn)氣管上進(jìn)氣閥同步控制的出氣閥，避免了源瓶處于非正常負(fù)壓狀態(tài)，降低了源瓶損壞的事故概率。

根據(jù)本實用新型的一個方面，提供一種低壓擴(kuò)散通源裝置，用于提供低壓擴(kuò)散裝置需要的摻雜氣體，包括：源瓶、進(jìn)氣管以及出氣管。源瓶具有用于儲存摻雜源液的容置空間，所述源瓶瓶身設(shè)有接通所述容置空間進(jìn)口與出口；進(jìn)氣管第一端與惰性氣源連接，第二端通過所述源瓶的進(jìn)口伸入所述摻雜源液的液面以下；出氣管第一端與低壓擴(kuò)散裝置連接，第二端通過所述源瓶的出口伸入所述摻雜源液的液面以上；其中，所述出氣管與所述進(jìn)氣管上分別設(shè)置有進(jìn)氣閥和出氣閥，且所述進(jìn)氣閥與所述出氣閥并聯(lián)受控，兩者同步開啟或截止。

在本實用新型的一種示例性實施例中，該低壓擴(kuò)散通源裝置還包括：

恒溫裝置，位于所述源瓶外側(cè)，用于為所述源瓶提供恒溫環(huán)境。