[實用新型]低壓擴散通源裝置、PN結制作設備以及電池生產系統

有效

• 申請號: 201820160642.1
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN207883657U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 和江變;張鴻飛
• 申請（專利權）人: 內蒙古日月太陽能科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/223
• 分類號: H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 王衛忠;袁禮君

1.一種低壓擴散通源裝置，用于提供低壓擴散裝置需要的摻雜氣體，其特征在于，包括：

源瓶，具有用于儲存摻雜源液的容置空間，所述源瓶瓶身設有接通所述容置空間進口與出口；

進氣管，第一端與惰性氣源連接，第二端通過所述源瓶的進口伸入所述摻雜源液的液面以下；

出氣管，第一端與低壓擴散裝置連接，第二端通過所述源瓶的出口伸入所述摻雜源液的液面以上；

其中，所述出氣管與所述進氣管上分別設置有進氣閥和出氣閥，且所述進氣閥與所述出氣閥并聯受控，兩者同步開啟或截止。

2.根據權利要求1所述的低壓擴散通源裝置，其特征在于，還包括：

恒溫裝置，位于所述源瓶外側，用于為所述源瓶提供恒溫環境。

3.根據權利要求1所述的低壓擴散通源裝置，其特征在于，還包括：

旁路管，第一端與所述進氣管連接，且連接點位于所述進氣閥與所述源瓶之間；第二端與所述出氣管連接，且連接點位于所述出氣閥與所述源瓶之間；

旁路閥，位于所述旁路管上。

4.根據權利要求1所述的低壓擴散通源裝置，其特征在于，所述源瓶的進口和出口處設置有密封墊，以在所述源瓶與所述進氣管或所述出氣管之間形成密封。

5.根據權利要求1-4任一項所述的低壓擴散通源裝置，其特征在于，所述進氣閥與所述出氣閥為電磁閥，所述進氣閥與所述出氣閥與同一控制開關連接，所述控制開關用于向所述進氣閥、所述出氣閥發送相同的控制信號。

6.根據權利要求1-4任一項所述的低壓擴散通源裝置，其特征在于，所述惰性氣源為氮氣氣源。

7.根據權利要求1-4任一項所述的低壓擴散通源裝置，其特征在于，所述源瓶為透明瓶。

8.一種PN結制作設備，其特征在于，包括上述權利要求1-7任一項所述的低壓擴散通源裝置。

9.一種電池生產系統，其特征在于，包括上述權利要求8所述的PN結制作設備。