[實用新型]應(yīng)用節(jié)能型熱場的單晶爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820156857.6
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN207793470U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳學軍
• 申請（專利權(quán)）人: 寧夏旭櫻新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 寧夏合天律師事務(wù)所 64103
• 代理人: 周曉梅;孫彥虎

1.一種應(yīng)用節(jié)能型熱場的單晶爐，其特征在于：包括二層平臺、設(shè)置在二層平臺上方的爐體、設(shè)置在二層平臺下方的驅(qū)動部件、坩堝位置標識裝置，爐體包括外爐筒和設(shè)置在內(nèi)部的熱場，外爐筒包括從上向下依次安裝連接的爐蓋、中爐筒和下爐筒，下爐筒安裝在二層平臺上，熱場包括坩堝、安裝座、加熱器、熱屏組件、保溫層，安裝座設(shè)置下爐筒內(nèi)，以安裝坩堝，坩堝設(shè)置在中爐筒內(nèi)，加熱器包圍設(shè)置在坩堝的周圍，以對坩堝內(nèi)的物料進行加熱化料，熱屏組件設(shè)置在坩堝的上方，在熱屏組件中間設(shè)置晶棒通道，保溫層包括從上向下依次設(shè)置的上保溫層、中保溫層、下保溫層，上保溫層設(shè)置在熱屏組件與中爐筒之間，中保溫層設(shè)置在加熱器與中爐筒之間，下保溫層設(shè)置在安裝座與下爐筒之間，驅(qū)動部件的上端穿過下爐筒的底部，以與安裝座連接，進而驅(qū)動坩堝旋轉(zhuǎn)和升降，所述熱場還包括中排氣組件，在下爐筒的側(cè)壁上對稱設(shè)置第一排氣套和第二排氣套，第一排氣套的一端及第二排氣套的一端外漏在下爐筒外部，用于與外部抽氣機構(gòu)連接，第一排氣套的另一端及的另一端穿過下爐筒及保溫層，以與中排氣組件連通，中排氣組件包括第一排氣管、第二排氣管、排氣環(huán)，第一排氣管、第二排氣管對稱設(shè)置在加熱器的兩側(cè)，第一排氣管、第二排氣管靠近保溫層設(shè)置，第一排氣管、第二排氣管均為豎直設(shè)置的空心直管，第一排氣管的下端與第一排氣套連通，第一排氣管的上端與排氣環(huán)連接，第二排氣管的下端與第二排氣套連通，第二排氣管的上端與排氣環(huán)連接，排氣環(huán)為一圓環(huán)，排氣環(huán)設(shè)置在坩堝及加熱器的上方的熱場內(nèi)，排氣環(huán)包括內(nèi)側(cè)環(huán)壁、外側(cè)環(huán)壁、環(huán)底，內(nèi)側(cè)環(huán)壁、外側(cè)環(huán)壁為同心圓，環(huán)底連接在內(nèi)側(cè)環(huán)壁、外側(cè)環(huán)壁之間，以形成U型環(huán)槽，還在內(nèi)側(cè)環(huán)壁、外側(cè)環(huán)壁上分別開設(shè)進氣口和出氣口，出氣口與第一排氣管、第二排氣管的上端連通，進氣口與內(nèi)側(cè)環(huán)壁內(nèi)側(cè)的熱場連通，以從坩堝口部上方的熱場內(nèi)排出氣體，所述坩堝位置標識裝置設(shè)置在二層平臺的下方，坩堝位置標識裝置包括下限位機構(gòu)和上限位機構(gòu)，設(shè)置在二層平臺下方的驅(qū)動部件包括升降電機、減速器、絲杠、導(dǎo)套，升降電機通過減速器與絲杠連接，以驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，絲杠與導(dǎo)套螺紋傳動連接，導(dǎo)套的上端與安裝座連接，以驅(qū)動坩堝升降，下限位機構(gòu)固定設(shè)置在驅(qū)動部件下方的二層平臺的機架上，以對導(dǎo)套的下降的最低位置進行限位，上限位機構(gòu)設(shè)置在驅(qū)動部件上方的二層平臺的機架上，以對導(dǎo)套的下降的最高位置進行限位。

2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用節(jié)能型熱場的單晶爐，其特征在于：所述內(nèi)側(cè)環(huán)壁上的進氣口為對稱設(shè)置的至少四個，所述外側(cè)環(huán)壁上的出氣口為對稱設(shè)置的兩個，以對熱場內(nèi)的氣體均勻抽吸，所述出氣口和進氣口錯位設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用節(jié)能型熱場的單晶爐，其特征在于：所述熱場還包括中間反射層，所述中間反射層設(shè)置在加熱器與保溫層之間，中間反射層靠近加熱器的表面為光滑表面，以對加熱器散發(fā)的熱量進行反射，中間反射層的頂部高于加熱器的頂部，中間反射層的底部低于加熱器的底部，以充分阻隔加熱器的熱量向保溫層傳遞散失。

4.如權(quán)利要求3所述的應(yīng)用節(jié)能型熱場的單晶爐，其特征在于：中間反射層為中鉬筒，中鉬筒為鉬材料制備而成。

5.如權(quán)利要求3所述的應(yīng)用節(jié)能型熱場的單晶爐，其特征在于：排氣環(huán)的外側(cè)環(huán)壁向下延伸形成下凸緣環(huán)，下凸緣環(huán)與環(huán)底之間形成環(huán)槽，所述中間反射層為包圍在加熱器周圍的空心圓筒，中間反射層的頂部嵌入至下凸緣環(huán)與環(huán)底之間的環(huán)槽內(nèi)。

6.如權(quán)利要求5所述的應(yīng)用節(jié)能型熱場的單晶爐，其特征在于：所述熱屏組件包括內(nèi)導(dǎo)流筒、外導(dǎo)流筒、保溫填充層、支撐環(huán)、壓環(huán)，內(nèi)導(dǎo)流筒為上口大、下口小的錐形筒，外導(dǎo)流筒為圓柱形筒，外導(dǎo)流筒的頂部向外翻折形成外檐，外導(dǎo)流筒的底部向內(nèi)翻折形成內(nèi)緣，內(nèi)導(dǎo)流筒的底部卡合在外導(dǎo)流筒的內(nèi)緣上，保溫填充層填充在內(nèi)導(dǎo)流筒和外導(dǎo)流筒之間，在外導(dǎo)流筒的外檐上方也填充保溫填充層，外檐上方的保溫填充層與中爐筒內(nèi)的上保溫層連接，壓環(huán)為環(huán)形板，壓環(huán)壓在外檐上方的保溫填充層上，壓環(huán)的內(nèi)沿與內(nèi)導(dǎo)流筒的上口接觸，壓環(huán)的外沿與外導(dǎo)流筒的外檐的邊緣對齊，支撐環(huán)為環(huán)形板，支撐環(huán)設(shè)置在外導(dǎo)流筒的外檐的下方，支撐環(huán)的邊緣與中爐筒的內(nèi)部固定連接，以安放熱屏組件，內(nèi)導(dǎo)流筒、外導(dǎo)流筒、支撐環(huán)、壓環(huán)同軸設(shè)置。