[實用新型]一種真空鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201820148506.0
• 申請日: 2018-01-29
• 公開（公告）號: CN208055451U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 李軍
• 申請（專利權）人: 合肥市輝耀真空材料有限責任公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/06
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 史慧敏

1.一種真空鍍膜裝置，其特征在于，包括真空鍍膜倉，所述真空鍍膜倉內設有蒸發底板，所述蒸發底板設有若干蒸發正電極和若干蒸發負電極以及若干蒸發舟，一個所述蒸發正電極和一個所述蒸發負電極通過一個所述蒸發舟連接，所述蒸發底板上設有上端開口的圍槽，所述圍槽的開口處設有蒸發罩，所述圍槽和所述蒸發罩之間形成容納腔，所述蒸發正電極、所述蒸發負電極和所述蒸發舟均位于所述容納腔內，位于所述容納腔內的所述蒸發罩的一面垂直設有多個相互平行的第一擋板，所述第一擋板將所述蒸發罩分為多個蒸發區，一個所述蒸發區設有多個通孔，且其正下方設有一個所述蒸發舟。

2.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述第一擋板的下端向下延伸與所述蒸發底板相貼。

3.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述蒸發底板沿長度方向上垂直設有多個相互平行的第二擋板，相鄰的兩個所述第二擋板之間安裝有一個所述蒸發舟且與所述蒸發舟的側壁相貼。

4.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述蒸發正電極和所述蒸發負電極均通過夾具與所述蒸發舟固定連接，所述夾具包括兩個固定夾板，兩個所述固定夾板的一端通過銅螺絲固定在所述蒸發正電極或者所述蒸發負電極上，另一端通過銅螺絲夾緊所述蒸發舟的一端。

5.根據權利要求4所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述夾具由紫銅材料制成。

6.根據權利要求1所述的真空鍍膜裝置，其特征在于，所述蒸發舟和所述蒸發罩均由鉬材料制成。