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[實用新型]一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置有效

專利信息
申請號: 201820145550.6 申請日: 2018-01-29
公開(公告)號: CN208008947U 公開(公告)日: 2018-10-26
發明(設計)人: 王立;王震東;王劍宇;張思鴻 申請(專利權)人: 南昌大學
主分類號: C30B29/46 分類號: C30B29/46;C30B25/00
代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 代理人: 趙艾亮
地址: 330027 江西省*** 國省代碼: 江西;36
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 內管 反應腔體 格子支架 反應前驅體 獨立空間 過渡金屬硫屬化合物 連續進樣 實驗裝置 低溫區 高溫區 晶體的 生長 承載 化學氣相沉積 本實用新型 磁性移動 左右移動 反應腔 前驅體 推動桿 異質結 左端 裝配 分割 移動 保證
【權利要求書】:

1.一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,包含反應腔體,其特征在于所述反應腔體分為左右兩部分,左邊為低溫區,右邊為高溫區,所述反應腔體低溫區固定有格子支架,所述格子支架將反應腔體分成若干獨立空間,所述格子支架上放置有內管,所述內管中承載有反應前驅體,所述內管左端通過推動桿固定連接有磁性移動器,所述內管可在格子支架上左右移動。

2.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述磁性移動器為永久磁鐵。

3.根據權利要求2所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述磁性移動器靠近所述反應腔體內壁,所述反應腔體外壁通過外置磁鐵與所述磁性移動器吸引。

4.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述反應腔體中由左往右持續通入載氣。

5.根據權利要求4所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述載氣為氬氣或者氦氣等惰性氣體。

6.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述反應腔體高溫區內設有基片,所述反應腔體高溫區外圍連接有加熱裝置。

7.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述反應腔體和所述格子支架為石英或者陶瓷材質。

8.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述內管由剛性且耐高溫材料石英、剛玉或氧化鋯加工而成。

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