[實用新型]一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置有效
| 申請號: | 201820145550.6 | 申請日: | 2018-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN208008947U | 公開(公告)日: | 2018-10-26 |
| 發明(設計)人: | 王立;王震東;王劍宇;張思鴻 | 申請(專利權)人: | 南昌大學 |
| 主分類號: | C30B29/46 | 分類號: | C30B29/46;C30B25/00 |
| 代理公司: | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人: | 趙艾亮 |
| 地址: | 330027 江西省*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 內管 反應腔體 格子支架 反應前驅體 獨立空間 過渡金屬硫屬化合物 連續進樣 實驗裝置 低溫區 高溫區 晶體的 生長 承載 化學氣相沉積 本實用新型 磁性移動 左右移動 反應腔 前驅體 推動桿 異質結 左端 裝配 分割 移動 保證 | ||
1.一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,包含反應腔體,其特征在于所述反應腔體分為左右兩部分,左邊為低溫區,右邊為高溫區,所述反應腔體低溫區固定有格子支架,所述格子支架將反應腔體分成若干獨立空間,所述格子支架上放置有內管,所述內管中承載有反應前驅體,所述內管左端通過推動桿固定連接有磁性移動器,所述內管可在格子支架上左右移動。
2.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述磁性移動器為永久磁鐵。
3.根據權利要求2所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述磁性移動器靠近所述反應腔體內壁,所述反應腔體外壁通過外置磁鐵與所述磁性移動器吸引。
4.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述反應腔體中由左往右持續通入載氣。
5.根據權利要求4所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述載氣為氬氣或者氦氣等惰性氣體。
6.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述反應腔體高溫區內設有基片,所述反應腔體高溫區外圍連接有加熱裝置。
7.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述反應腔體和所述格子支架為石英或者陶瓷材質。
8.根據權利要求1所述的一種可連續進樣生長過渡金屬硫屬化合物晶體的實驗裝置,其特征在于所述內管由剛性且耐高溫材料石英、剛玉或氧化鋯加工而成。
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