[實(shí)用新型]一種可連續(xù)進(jìn)樣生長過渡金屬硫?qū)倩衔锞w的實(shí)驗(yàn)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820145550.6 | 申請日： | 2018-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN208008947U | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王立;王震東;王劍宇;張思鴻 | 申請（專利權(quán)）人： | 南昌大學(xué) |
| 主分類號： | C30B29/46 | 分類號： | C30B29/46;C30B25/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246 | 代理人： | 趙艾亮 |
| 地址： | 330027 江西省*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 內(nèi)管 反應(yīng)腔體 格子支架 反應(yīng)前驅(qū)體 獨(dú)立空間 過渡金屬硫?qū)倩衔?/a> 連續(xù)進(jìn)樣 實(shí)驗(yàn)裝置 低溫區(qū) 高溫區(qū) 晶體的 生長 承載 化學(xué)氣相沉積 本實(shí)用新型 磁性移動 左右移動 反應(yīng)腔 前驅(qū)體 推動桿 異質(zhì)結(jié) 左端 裝配 分割 移動 保證 | ||
本實(shí)用新型提供了一種可連續(xù)進(jìn)樣生長過渡金屬硫?qū)倩衔锞w的實(shí)驗(yàn)裝置，包含反應(yīng)腔體，所述反應(yīng)腔體分為左右兩部分，左邊為低溫區(qū)，右邊為高溫區(qū)，所述反應(yīng)腔體低溫區(qū)固定有格子支架，所述格子支架將反應(yīng)腔體分成若干獨(dú)立空間，所述格子支架上放置有內(nèi)管，所述內(nèi)管中承載有反應(yīng)前驅(qū)體，所述內(nèi)管左端通過推動桿連接有磁性移動器，所述內(nèi)管可在格子支架上左右移動。將反應(yīng)腔體用格子支架分割成多個獨(dú)立空間，每個獨(dú)立空間都放置承載有反應(yīng)前驅(qū)體的內(nèi)管，通過分批次將內(nèi)管中的反應(yīng)前驅(qū)體移動至高溫區(qū)，達(dá)到不打開反應(yīng)腔體即可連續(xù)裝配前驅(qū)體的目的，保證了化學(xué)氣相沉積法生長構(gòu)成異質(zhì)結(jié)的良好性能。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可連續(xù)進(jìn)樣生長過渡金屬硫?qū)倩衔锞w的實(shí)驗(yàn)裝置。
背景技術(shù)
二維過渡金屬硫?qū)倩衔锞w由于具有優(yōu)越的物理和化學(xué)特性，在場效應(yīng)管、光電器件、鋰離子電池以及光催化等領(lǐng)域有著良好的應(yīng)用前景，其相互構(gòu)成異質(zhì)結(jié)形成器件也具有深遠(yuǎn)的科學(xué)研究和應(yīng)用價值。然而，在化學(xué)氣相沉積法生長構(gòu)成異質(zhì)結(jié)器件時，需要打開反應(yīng)腔體再次裝配前驅(qū)體進(jìn)行反應(yīng)，這將給異質(zhì)結(jié)在形成時帶來不同環(huán)境的影響，第一次生長的材料界面會被暴露在大氣中，從而帶來不利于材料表面的灰塵和一些納米粒子的污染，從而影響二次形成異質(zhì)結(jié)時的生長和構(gòu)成器件的性能，尤其是光電性能。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是針對以上實(shí)際存在的問題，提供一種可連續(xù)進(jìn)樣生長過渡金屬硫?qū)倩衔锞w的實(shí)驗(yàn)裝置，該裝置可在不打開反應(yīng)腔體的情況下持續(xù)的裝配反應(yīng)前驅(qū)體，保證化學(xué)氣相沉積法生長構(gòu)成異質(zhì)結(jié)的良好性能。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種可連續(xù)進(jìn)樣生長過渡金屬硫?qū)倩衔锞w的實(shí)驗(yàn)裝置，包含反應(yīng)腔體，所述反應(yīng)腔體分為左右兩部分，左邊為低溫區(qū)，右邊為高溫區(qū)，所述反應(yīng)腔體低溫區(qū)固定有格子支架，所述格子支架將反應(yīng)腔體分成若干獨(dú)立空間，所述格子支架上放置有內(nèi)管，所述內(nèi)管中承載有反應(yīng)前驅(qū)體，所述內(nèi)管左端通過推動桿固定連接有磁性移動器，所述內(nèi)管可在格子支架上左右移動。
優(yōu)選的，所述磁性移動器為永久磁鐵。
優(yōu)選的，所述磁性移動器靠近所述反應(yīng)腔體內(nèi)壁，所述反應(yīng)腔體外壁通過外置磁鐵與所述磁性移動器吸引。
優(yōu)選的，所述反應(yīng)腔體中由左往右持續(xù)通入載氣。
優(yōu)選的，所述載氣為氬氣或者氦氣等惰性氣體。
優(yōu)選的，所述反應(yīng)腔體高溫區(qū)內(nèi)設(shè)有基片，所述反應(yīng)腔體高溫區(qū)外圍連接有加熱裝置。
優(yōu)選的，所述反應(yīng)腔體和所述格子支架為石英或者陶瓷材質(zhì)。
優(yōu)選的，所述內(nèi)管由剛性且耐高溫材料石英、剛玉或氧化鋯加工而成。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型將反應(yīng)腔體用格子支架分割成多個獨(dú)立空間，每個獨(dú)立空間都放置承載有反應(yīng)前驅(qū)體的內(nèi)管，通過分批次將內(nèi)管中的反應(yīng)前驅(qū)體移動至高溫區(qū)，達(dá)到不打開反應(yīng)腔體即可連續(xù)裝配前驅(qū)體的目的，保證了化學(xué)氣相沉積法生長構(gòu)成異質(zhì)結(jié)的良好性能。格子支架、反應(yīng)腔體和內(nèi)管均是非磁性材料制作而成，通過外置磁鐵吸引內(nèi)管前端的磁性移動器移動時，不會受到影響。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型所用實(shí)驗(yàn)裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本實(shí)用新型反應(yīng)腔體中的格子支架結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為本實(shí)用新型內(nèi)管和連接內(nèi)管一端的磁性移動器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖示說明：1-格子支架，2-磁性移動器，3-推動桿，4-內(nèi)管，5-反應(yīng)前驅(qū)體，6-基片，7-加熱裝置，8-反應(yīng)腔體。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步地說明。
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