[實(shí)用新型]基底傳送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820144368.9
• 申請(qǐng)日: 2018-01-26
• 公開（公告）號(hào): CN208142148U
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張海陸;黃志凱;顏廷彪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本實(shí)用新型提供了一種基底傳送裝置，包括底座、用于承載和傳送基底的基底承載傳送結(jié)構(gòu)、以及至少一個(gè)連接所述底座和基底承載傳送結(jié)構(gòu)的連接臂，所述基底傳送裝置還包括用于對(duì)所述整個(gè)基底進(jìn)行掃描的掃描感應(yīng)器，所述掃描感應(yīng)器設(shè)置于所述連接臂上，當(dāng)所述基底傳送裝置承載基底之后，所述掃描感應(yīng)器對(duì)所述基底進(jìn)行掃描，從而能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)破損的基底，防止破損基底進(jìn)入機(jī)臺(tái)，避免機(jī)臺(tái)不必要的報(bào)警及停機(jī)，并且有利于減少基底的返工，提高產(chǎn)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及一種基底傳送裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造過程中，基底一般是利用基底傳送裝置將其從一個(gè)機(jī)臺(tái)傳送至另一個(gè)機(jī)臺(tái)，或者從卡匣等收容器中傳送至各個(gè)機(jī)臺(tái)，或者從機(jī)臺(tái)傳送至卡匣保存。

在現(xiàn)階段，基底傳送裝置將基底傳送至下一位置之前，會(huì)通過傳感器對(duì)卡匣(或機(jī)臺(tái))內(nèi)是否有基底及基底在卡匣(或機(jī)臺(tái))內(nèi)的位置進(jìn)行檢測，或者對(duì)基底傳送裝置內(nèi)基底的位置進(jìn)行檢測，檢測無誤之后將基底傳送至下一位置進(jìn)行操作。

但是，傳感器并無法檢測出基底的破損，當(dāng)破損的基底進(jìn)入機(jī)臺(tái)時(shí)機(jī)臺(tái)會(huì)發(fā)生報(bào)警并停機(jī)，工作人員需要對(duì)報(bào)警原因進(jìn)行檢查，確認(rèn)基底破損是否是由該機(jī)臺(tái)異常所造成的，排除之后才能追述到上一個(gè)站點(diǎn)。這樣即浪費(fèi)時(shí)間和人力，也增加了基底的返工，同時(shí)也降低了產(chǎn)量。

因此，針對(duì)上述技術(shù)問題，有必要提供一種基底傳送裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種基底傳送裝置，對(duì)基底是否破損進(jìn)行檢查，預(yù)防破損基底進(jìn)入機(jī)臺(tái)，從而避免機(jī)臺(tái)不必要的報(bào)警及停機(jī)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種基底傳送裝置，包括底座、用于承載和傳送基底的基底承載傳送結(jié)構(gòu)、以及至少一個(gè)連接所述底座和基底承載傳送結(jié)構(gòu)的連接臂，所述基底傳送裝置還包括用于對(duì)整個(gè)基底進(jìn)行掃描的掃描感應(yīng)器，所述掃描感應(yīng)器設(shè)置于所述連接臂上。

可選的，所述掃描感應(yīng)器位于所述連接臂上靠近所述基底承載傳送結(jié)構(gòu)的位置上。

可選的，所述掃描感應(yīng)器能夠沿所述連接臂旋轉(zhuǎn)。

可選的，所述掃描感應(yīng)器旋轉(zhuǎn)所組成的平面與所述基底所在的平面平行。

可選的，所述掃描感應(yīng)器旋轉(zhuǎn)的角度范圍介于0度～90度之間。

可選的，所述基底承載傳送結(jié)構(gòu)呈扁平狀。

可選的，所述基底承載傳送結(jié)構(gòu)包括與所述連接臂連接的基部、與所述基部相連接的承載部，所述承載部包括有兩個(gè)相互平行的指狀結(jié)構(gòu)。

可選的，所述指狀結(jié)構(gòu)上設(shè)置有對(duì)檢測所述基底位置的傳感器。

可選的，所述基底傳送裝置還包括設(shè)置于所述底座上的報(bào)警器。

可選的，所述基底傳送裝置還包括設(shè)置于所述底座上的控制器。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的基底傳送裝置，包括底座、用于承載和傳送基底的基底承載傳送結(jié)構(gòu)、以及至少一個(gè)連接所述底座和基底承載傳送結(jié)構(gòu)的連接臂，所述基底傳送裝置還包括用于對(duì)所述基底進(jìn)行掃描的掃描感應(yīng)器，所述掃描感應(yīng)器設(shè)置于所述連接臂上，當(dāng)所述基底傳送裝置承載基底之后，所述掃描感應(yīng)器對(duì)整個(gè)基底進(jìn)行掃描，從而能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)破損的基底，從而防止破損基底進(jìn)入機(jī)臺(tái)，避免機(jī)臺(tái)不必要的報(bào)警及停機(jī)，并且有利于減少基底的返工，提高產(chǎn)量。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的基底傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做進(jìn)一步說明。當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。