[實用新型]基底傳送裝置有效
| 申請號： | 201820144368.9 | 申請日： | 2018-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN208142148U | 公開（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發明（設計）人： | 張海陸;黃志凱;顏廷彪 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思捷知識產權代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基底 基底傳送裝置 掃描感應 機臺 基底承載 傳送 連接臂 底座 破損 掃描 承載 本實用新型 返工 停機 報警 發現 | ||
1.一種基底傳送裝置，包括底座、用于承載和傳送基底的基底承載傳送結構、以及至少一個連接所述底座和基底承載傳送結構的連接臂，其特征在于，所述基底傳送裝置還包括用于對整個基底進行掃描的掃描感應器，所述掃描感應器設置于所述連接臂上。
2.如權利要求1所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述掃描感應器位于所述連接臂上靠近所述基底承載傳送結構的位置上。
3.如權利要求2所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述掃描感應器能夠沿所述連接臂旋轉。
4.如權利要求3所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述掃描感應器旋轉所組成的平面與所述基底所在的平面平行。
5.如權利要求4所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述掃描感應器旋轉的角度范圍介于0度～90度之間。
6.如權利要求1所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述基底承載傳送結構呈扁平狀。
7.如權利要求6所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述基底承載傳送結構包括與所述連接臂連接的基部、與所述基部相連接的承載部，所述承載部包括兩個相互平行的指狀結構。
8.如權利要求7所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述指狀結構上設置有檢測所述基底位置的傳感器。
9.如權利要求1～8中任一項所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述基底傳送裝置還包括設置于所述底座上的報警器。
10.如權利要求1～8中任一項所述的基底傳送裝置，其特征在于，所述基底傳送裝置還包括設置于所述底座上的控制器。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
