[實用新型]一種UV解膠機

有效

• 申請號: 201820137895.7
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN207818536U
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 郭勇;柳直;丁鵬
• 申請（專利權）人: 蘇州光寶科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

本實用新型涉及一種UV解膠機，包括箱體，所述箱體后側通過轉軸活動連接有UVLED上蓋，所述箱體頂部設有工件放置區，所述工件放置區內設有工件固定凹槽，所述箱體下部的左側設有氮氣總管，所述箱體頂部靠右側位置還設有啟動按鈕，所述啟動按鈕右側設有急停按鈕，所述急停按鈕后側設有控制面板，所述控制面板后側設置有指示燈，所述UVLED上蓋底部設有UVLED冷光源，所述UVLED上蓋的前側固定連接有把手，所述UVLED冷光源的前側設有連接觸點，所述的前側設有觸點凹槽，所述氮氣總管上連接氮氣支管，所述控制面板通過分別導線連接指示燈、UVLED冷光源，實現了更換工件過程中UVLED光源的自動斷電，減少了對工作人員的輻射，操作簡單，提供了一個更加安全的工作環境。

技術領域

本實用新型涉及一種UV解膠機，屬于UV機技術領域。

背景技術

在半導體芯片生產工藝中，芯片劃片之前，要將晶圓片用劃片膠膜固定在框架上，在劃片工藝完成后，用UV光對固定膠膜進行照射，以降低劃片固定膜的粘性，以便后續封裝工序的順利生產，現有技術中的UV解膠機多采用UV汞燈從靜止工件下方照射的方式，汞燈發熱量大，壽命短，光強衰減快，照射的穩定性與均勻性比較差，工作效率低，解膠效果不均勻，且散熱性不佳，使用壽命短，安全性差，實用性不強，然而采用LED光源照射在更換工件時燈光會對工作人員產生輻射，危害工作人員的身體健康，采用頻繁開關的方式控制又比較麻煩。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題克服現有的缺陷，提供一種UV解膠機，實現了更換工件過程中UVLED光源的自動斷電，減少了對工作人員的輻射，操作簡單，提供了一個更加安全的工作環境，可以有效解決背景技術中的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

一種UV解膠機，包括箱體，所述箱體后側通過轉軸活動連接有UVLED上蓋，所述箱體頂部設有工件放置區，所述工件放置區內設有工件固定凹槽，所述箱體下部的左側設有氮氣總管，所述箱體頂部靠右側位置還設有啟動按鈕，所述啟動按鈕右側設有急停按鈕，所述急停按鈕后側設有控制面板，所述控制面板后側設置有指示燈，所述UVLED上蓋底部設有UVLED冷光源，所述UVLED上蓋的前側固定連接有把手，所述UVLED冷光源的前側設有連接觸點，所述的前側設有觸點凹槽，所述氮氣總管上連接氮氣支管，所述控制面板通過分別導線連接指示燈、UVLED冷光源，所述啟動按鈕通過導線連接UVLED冷光源，所述UVLED冷光源分別通過導線連接連接觸點、觸點凹槽。

進一步而言，所述箱體采用不銹鋼材質制成，所述UVLED上蓋采用鋁合金材質構成，且所述UVLED冷光源的頂部設有塑料外殼。

進一步而言，所述工件固定凹槽的左右兩側均設有氮氣孔，且氮氣孔設置在工件放置區內。

進一步而言，所述控制面板為液晶觸摸屏，所述連接觸點的位置與觸點凹槽的位置、尺寸相匹配。

進一步而言，所述把手由塑料材質構成，所述UVLED冷光源由呈點陣分布的UVLED燈珠構成。

進一步而言，所述氮氣支管的頂部設置在氮氣孔處，且所述氮氣支管的數目至少為六個。

本實用新型有益效果：一種UV解膠機，整體結構采用小巧的桌面式設計，采用液晶觸摸屏一鍵式自動完成解膠過程，使用起來更加方便，UVLED冷光源代替了傳統的高壓汞燈，使用壽命比普通汞燈壽命長，UVLED冷光源與汞燈組成的光源相比，更能實現穩定性，均勻性的照射，UVLED冷光源安全性高，熱量小，功耗低，通過連接觸點、觸點凹槽與UVLED冷光源連接形成的類似開關的結構，UVLED上蓋打開或是關閉過程中，UVLED冷光源處于關閉狀態，有效防止紫外光外泄對人體傷害，減少了對工作人員的輻射，操作簡單，提供了一個更加安全的工作環境。

附圖說明