[實用新型]一種新式硅片切割裝置有效

申請號：	201820136465.3	申請日：	2018-01-26
公開（公告）號：	CN207888946U	公開（公告）日：	2018-09-21
發明（設計）人：	潘堯	申請（專利權）人：	蘇州銳材半導體有限公司
主分類號：	B28D5/00	分類號：	B28D5/00;B28D7/00
代理公司：	蘇州國卓知識產權代理有限公司 32331	代理人：	陸曉鷹
地址：	215000 江蘇省蘇州***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	上端切割硅片切割裝置本實用新型伺服底部連接橫向支架伸縮裝置伺服液壓滑槽滑塊架體各向異性刻蝕腐蝕電動液壓鉗刻蝕裝置濕法腐蝕豎向連接縱向連接腐蝕液硅片刻蝕薄膜
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【權利要求書】：

1.一種新式硅片切割裝置，包括一機架，所述機架上端設有架體，所述架體底部設有滑槽，所述滑槽上滑動連接有基于伺服控制的伺服滑塊，所述伺服滑塊底部連接有橫向支架，其特征在于，所述橫向支架底部縱向連接有三個基于伺服控制的伺服液壓伸縮裝置，分別為第一伺服液壓伸縮裝置、第二伺服液壓伸縮裝置和第三伺服液壓伸縮裝置，所述第一伺服液壓伸縮裝置底部連接有第一電動液壓鉗，所述第二伺服液壓伸縮裝置底部連接有第二電動液壓鉗，所述第三伺服液壓伸縮裝置底部連接有第三電動液壓鉗，所述機架上端豎向連接有第一刻蝕刀、第二刻蝕刀和第三刻蝕刀，且所述第一刻蝕刀、第二刻蝕刀和第三刻蝕刀分別對應第一電動液壓鉗、第二電動液壓鉗和第三電動液壓鉗；同時所述機架上端右側還設有一盛有腐蝕液的、用于濕法腐蝕的腐蝕箱體。

2.如權利要求1所述的一種新式硅片切割裝置，其特征在于，所述腐蝕箱體上端蓋設有防濺層，所述機架上端設有防濺透明圍欄。

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