[實用新型]一種插片機防撞緩沖裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820134685.2 | 申請日: | 2018-01-26 |
| 公開(公告)號: | CN207966948U | 公開(公告)日: | 2018-10-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 古元甲;劉濤;范猛;劉沛然;李強瑛;邱長興;米心愿;張建形;秦焱澤;呂瑩;徐榮清 | 申請(專利權(quán))人: | 天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 欒志超 |
| 地址: | 300384 天津市濱海*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 機械手 插件 緩沖 調(diào)節(jié)裝置 硅片 插片 行程控制裝置 本實用新型 緩沖裝置 自動取放機械手 不接觸 電連接 緩沖件 磕碰 減小 自動化 加工 | ||
本實用新型提供一種插片機防撞緩沖裝置,包括機械手、緩沖插件、機械手調(diào)節(jié)裝置和機械手行程控制裝置,緩沖插件固定設(shè)于機械手上,機械手設(shè)于機械手調(diào)節(jié)裝置上,機械手調(diào)節(jié)裝置與機械手行程控制裝置電連接,緩沖插件上設(shè)有緩沖件。本實用新型的有益效果是通過在片籃底部增加緩沖插件,實現(xiàn)硅片入籃與片籃底部不接觸,通過增加兩個插件自動取放機械手,實現(xiàn)緩沖插件的自動化精確控制,從而避免硅片入籃與片籃底部的接觸磕碰,達到插片過程中減小硅片與片籃的作用力,提高加工質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于太陽能材料生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種插片機防撞緩沖裝置。
背景技術(shù)
隨著光伏行業(yè)的快速發(fā)展,市場競爭日益激烈。提高產(chǎn)品品質(zhì)成為企業(yè)提高競爭力的主要途徑之一,當(dāng)前插片清洗一體機采用皮帶傳送硅片入籃,通過皮帶帶動依靠慣性將硅片插入片籃,硅片與花籃底部接觸撞擊,沖擊力較大會造成硅片損害。從而導(dǎo)致硅片崩邊、隱裂等不良的上升,影響加工質(zhì)量,更影響到客戶端的生產(chǎn)良率。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題,本實用新型要解決的問題是提供一種插片機防撞緩沖裝置,尤其適合生產(chǎn)硅片使插片清洗一體機使用,在片籃底部增加緩沖插件,能夠?qū)崿F(xiàn)硅片入籃與片籃底部不接觸,避免硅片入籃與片籃底部的接觸磕碰,提高硅片生產(chǎn)質(zhì)量。
為解決上述技術(shù)問題,本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種插片機防撞緩沖裝置,包括機械手、緩沖插件、機械手調(diào)節(jié)裝置和機械手行程控制裝置,緩沖插件固定設(shè)于機械手上,機械手設(shè)于機械手調(diào)節(jié)裝置上,機械手調(diào)節(jié)裝置與機械手行程控制裝置電連接,緩沖插件上設(shè)有緩沖件。
具體地,緩沖插件包括連接臂和緩沖板,連接臂一端與機械手固定連接,連接臂另一端與緩沖板固定連接,緩沖板一側(cè)設(shè)有緩沖件。
具體地,機械手包括機械手本體和連接板,機械手本體一端與連接臂固定連接,機械手本體另一端與連接板固定連接,連接板與機械手調(diào)節(jié)裝置連接。
具體地,機械手調(diào)節(jié)裝置包括支桿和支桿伸縮裝置,支桿設(shè)于支桿伸縮裝置上,支桿伸縮裝置的兩端分別設(shè)有管路連接口,管路連接口處設(shè)有調(diào)節(jié)閥。
進一步的,機械手行程控制裝置包括控制器和電磁閥,電磁閥與控制器電連接,電磁閥通過管路與管路連接口連接。
進一步的,緩沖件為硅膠墊。
進一步的,電磁閥具有多個接口,且電磁閥上設(shè)有調(diào)節(jié)按鈕。
進一步的,支桿伸縮裝置為氣缸,調(diào)節(jié)閥為氣壓調(diào)節(jié)閥。
本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是:
1.由于采用上述技術(shù)方案,通過在片籃底部增加緩沖插件,實現(xiàn)硅片入籃與片籃底部不接觸,通過增加兩個插件自動取放機械手,實現(xiàn)緩沖插件的自動化精確控制,從而避免硅片入籃與片籃底部的接觸磕碰,達到插片過程中減小硅片與片籃的作用力,提高加工質(zhì)量;
2.在緩沖插件上設(shè)置有硅膠墊,使得硅片入籃時不與籃底部不接觸,同時減少硅片與插片之間的碰撞,減少硅片的碎片和裂片,提高硅片的生產(chǎn)質(zhì)量;
3.氣壓電磁閥和氣壓調(diào)節(jié)閥的設(shè)置,能夠精確自動化調(diào)節(jié)緩沖插件的動作,便于硅片的生產(chǎn),提高生產(chǎn)效率。
附圖說明
圖1是本實用新型的一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:
1、連接臂 2、緩沖板 3、緩沖件
4、管路連接口 5、支桿伸縮裝置 6、調(diào)節(jié)閥
7、支桿 8、機械手
具體實施方式
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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