[實用新型]一種插片機防撞緩沖裝置有效
| 申請號: | 201820134685.2 | 申請日: | 2018-01-26 |
| 公開(公告)號: | CN207966948U | 公開(公告)日: | 2018-10-12 |
| 發明(設計)人: | 古元甲;劉濤;范猛;劉沛然;李強瑛;邱長興;米心愿;張建形;秦焱澤;呂瑩;徐榮清 | 申請(專利權)人: | 天津市環歐半導體材料技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 欒志超 |
| 地址: | 300384 天津市濱海*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 機械手 插件 緩沖 調節裝置 硅片 插片 行程控制裝置 本實用新型 緩沖裝置 自動取放機械手 不接觸 電連接 緩沖件 磕碰 減小 自動化 加工 | ||
本實用新型提供一種插片機防撞緩沖裝置,包括機械手、緩沖插件、機械手調節裝置和機械手行程控制裝置,緩沖插件固定設于機械手上,機械手設于機械手調節裝置上,機械手調節裝置與機械手行程控制裝置電連接,緩沖插件上設有緩沖件。本實用新型的有益效果是通過在片籃底部增加緩沖插件,實現硅片入籃與片籃底部不接觸,通過增加兩個插件自動取放機械手,實現緩沖插件的自動化精確控制,從而避免硅片入籃與片籃底部的接觸磕碰,達到插片過程中減小硅片與片籃的作用力,提高加工質量。
技術領域
本實用新型屬于太陽能材料生產設備技術領域,尤其是涉及一種插片機防撞緩沖裝置。
背景技術
隨著光伏行業的快速發展,市場競爭日益激烈。提高產品品質成為企業提高競爭力的主要途徑之一,當前插片清洗一體機采用皮帶傳送硅片入籃,通過皮帶帶動依靠慣性將硅片插入片籃,硅片與花籃底部接觸撞擊,沖擊力較大會造成硅片損害。從而導致硅片崩邊、隱裂等不良的上升,影響加工質量,更影響到客戶端的生產良率。
發明內容
鑒于上述問題,本實用新型要解決的問題是提供一種插片機防撞緩沖裝置,尤其適合生產硅片使插片清洗一體機使用,在片籃底部增加緩沖插件,能夠實現硅片入籃與片籃底部不接觸,避免硅片入籃與片籃底部的接觸磕碰,提高硅片生產質量。
為解決上述技術問題,本實用新型采用的技術方案是:一種插片機防撞緩沖裝置,包括機械手、緩沖插件、機械手調節裝置和機械手行程控制裝置,緩沖插件固定設于機械手上,機械手設于機械手調節裝置上,機械手調節裝置與機械手行程控制裝置電連接,緩沖插件上設有緩沖件。
具體地,緩沖插件包括連接臂和緩沖板,連接臂一端與機械手固定連接,連接臂另一端與緩沖板固定連接,緩沖板一側設有緩沖件。
具體地,機械手包括機械手本體和連接板,機械手本體一端與連接臂固定連接,機械手本體另一端與連接板固定連接,連接板與機械手調節裝置連接。
具體地,機械手調節裝置包括支桿和支桿伸縮裝置,支桿設于支桿伸縮裝置上,支桿伸縮裝置的兩端分別設有管路連接口,管路連接口處設有調節閥。
進一步的,機械手行程控制裝置包括控制器和電磁閥,電磁閥與控制器電連接,電磁閥通過管路與管路連接口連接。
進一步的,緩沖件為硅膠墊。
進一步的,電磁閥具有多個接口,且電磁閥上設有調節按鈕。
進一步的,支桿伸縮裝置為氣缸,調節閥為氣壓調節閥。
本實用新型具有的優點和積極效果是:
1.由于采用上述技術方案,通過在片籃底部增加緩沖插件,實現硅片入籃與片籃底部不接觸,通過增加兩個插件自動取放機械手,實現緩沖插件的自動化精確控制,從而避免硅片入籃與片籃底部的接觸磕碰,達到插片過程中減小硅片與片籃的作用力,提高加工質量;
2.在緩沖插件上設置有硅膠墊,使得硅片入籃時不與籃底部不接觸,同時減少硅片與插片之間的碰撞,減少硅片的碎片和裂片,提高硅片的生產質量;
3.氣壓電磁閥和氣壓調節閥的設置,能夠精確自動化調節緩沖插件的動作,便于硅片的生產,提高生產效率。
附圖說明
圖1是本實用新型的一實施例的結構示意圖。
圖中:
1、連接臂 2、緩沖板 3、緩沖件
4、管路連接口 5、支桿伸縮裝置 6、調節閥
7、支桿 8、機械手
具體實施方式
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





