[實(shí)用新型]一種插片機(jī)防撞緩沖裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820134685.2
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN207966948U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古元甲;劉濤;范猛;劉沛然;李強(qiáng)瑛;邱長興;米心愿;張建形;秦焱澤;呂瑩;徐榮清
• 申請（專利權(quán)）人: 天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：包括機(jī)械手、緩沖插件、機(jī)械手調(diào)節(jié)裝置和機(jī)械手行程控制裝置，所述緩沖插件固定設(shè)于所述機(jī)械手上，所述機(jī)械手設(shè)于所述機(jī)械手調(diào)節(jié)裝置上，所述機(jī)械手調(diào)節(jié)裝置與所述機(jī)械手行程控制裝置電連接，所述緩沖插件上設(shè)有緩沖件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：所述緩沖插件包括連接臂和緩沖板，所述連接臂一端與所述機(jī)械手固定連接，所述連接臂另一端與所述緩沖板固定連接，所述緩沖板一側(cè)設(shè)有所述緩沖件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：所述機(jī)械手包括機(jī)械手本體和連接板，所述機(jī)械手本體一端與所述連接臂固定連接，所述機(jī)械手本體另一端與所述連接板固定連接，所述連接板與所述機(jī)械手調(diào)節(jié)裝置連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：所述機(jī)械手調(diào)節(jié)裝置包括支桿和支桿伸縮裝置，所述支桿設(shè)于所述支桿伸縮裝置上，所述支桿伸縮裝置的兩端分別設(shè)有管路連接口，所述管路連接口處設(shè)有調(diào)節(jié)閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：所述機(jī)械手行程控制裝置包括控制器和電磁閥，所述電磁閥與所述控制器電連接，所述電磁閥通過管路與所述管路連接口連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：所述緩沖件為硅膠墊。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：所述電磁閥具有多個接口，且所述電磁閥上設(shè)有調(diào)節(jié)按鈕。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的插片機(jī)防撞緩沖裝置，其特征在于：所述支桿伸縮裝置為氣缸，所述調(diào)節(jié)閥為氣壓調(diào)節(jié)閥。