[實用新型]電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備

有效

• 申請號: 201820126476.3
• 申請日: 2018-01-24
• 公開（公告）號: CN207893423U
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 劉躍
• 申請（專利權）人: 深圳市蓋斯帕克氣體應用技術有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備，包括柜體，設置于所述柜體內的氣瓶、分氣裝置，所述分氣裝置包括吹掃模塊、供氣模塊、以及抽真空模塊，其中，所述供氣模塊分別與所述氣瓶、吹掃模塊、抽真空模塊、以及外部用氣設備連接。本實用新型通過各種閥門有機地、巧妙地組合，外加上PLC控制及觸摸屏這一人機交互媒介，使其自動化程度大大提高，同時也方便使用者操作。柜體是為了滿足微電子半導體生產、科研要求而設計的氣體輸送系統。柜體中裝載有單個或兩個工藝鋼瓶、工藝輸出管線以及一條吹掃管路。此外，柜體裝載并且輸送高純度有毒或易燃易爆氣體，可以與更大型系統的使用點進行連接。

技術領域

本實用新型涉及廢氣處理技術領域，尤其涉及一種電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備。

背景技術

目前，市面上用于半導體工廠或實驗室的毒腐可燃氣體控制設備，存在自動不徹底、危機處理不安全、結構繁雜、維護困難、操作不方便的問題。這就給使用都帶來了使用不方便、使用不安全、危機處理不恰當，造成了人力物力的浪費，同時給使用方帶來極大地安全隱患。

實用新型內容

本實用新型提出一種電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備，旨在提高毒腐可燃氣體利用的安全性。

為實現上述目的，本實用新型提供一種電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備，包括柜體，設置于所述柜體內的氣瓶、分氣裝置，所述分氣裝置包括吹掃模塊、供氣模塊、以及抽真空模塊，其中，所述供氣模塊分別與所述氣瓶、吹掃模塊、抽真空模塊、以及外部用氣設備連接。

如上所述電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備還包括設置于所述柜體內部的控制器，所述控制器分別與所述吹掃模塊、供氣模塊、以及抽真空模塊連接。

如上所述電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備還包括設置于所述柜體內部的電磁閥，所述控制器通過所述電磁閥與所述吹掃模塊、供氣模塊、以及抽真空模塊連接。

如上所述供氣模塊包括：限流開關EFS、過濾器F2-L、低壓手動隔膜閥 LPHL、壓力傳感器DPGL、低壓氣動隔膜閥LPVL、單向閥CV3、壓力傳感器 VPG、高壓氣動隔膜閥HPVL、高壓氣動隔膜閥HPVR、調壓閥REGL、高壓氣動隔膜閥HPIL、高壓氣動隔膜閥HPIR、過濾器F1-R、高壓氣動隔膜閥PGIR、以及壓力傳感器SPGR；其中，

所述限流開關EFS與所述過濾器F2-L、低壓手動隔膜閥LPHL連接，所述低壓手動隔膜閥LPHL還與所述壓力傳感器DPGL、低壓氣動隔膜閥LPVL、調壓閥REGL連接，所述低壓氣動隔膜閥LPVL還與所述單向閥CV3連接，所述單向閥CV3還與壓力傳感器VPG、高壓氣動隔膜閥HPVL、高壓氣動隔膜閥 HPVR連接，所述高壓氣動隔膜閥HPVR連接還與所述高壓氣動隔膜閥HPIR、所述過濾器F1-R連接，所述高壓氣動隔膜閥HPIR還與所述調壓閥REGL、高壓氣動隔膜閥HPIL連接，所述過濾器F1-R還與所述高壓氣動隔膜閥PGIR、壓力傳感器SPGR連接，所述壓力傳感器DPGL、所述壓力傳感器VPG、所述壓力傳感器SPGR還與所述控制器連接。

如上所述吹掃模塊包括：所述低壓氣動隔膜閥LPVL、所述單向閥CV3、所述壓力傳感器VPG、所述高壓氣動隔膜閥HPVL、所述高壓氣動隔膜閥 HPVR、所述高壓氣動隔膜閥HPIR、所述過濾器F1-R、所述壓力傳感器SPGR、所述高壓氣動隔膜閥PGIR、以及高壓氣動隔膜閥HPCV、低壓氣動隔膜閥 LPBV、高壓氣動隔膜閥HPDV、真空發生器VG、單向閥CV1、單向閥CV2、高壓氣動隔膜閥PGIL；其中，