[實用新型]電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備有效
| 申請號: | 201820126476.3 | 申請日: | 2018-01-24 |
| 公開(公告)號: | CN207893423U | 公開(公告)日: | 2018-09-21 |
| 發明(設計)人: | 劉躍 | 申請(專利權)人: | 深圳市蓋斯帕克氣體應用技術有限公司 |
| 主分類號: | F17D1/02 | 分類號: | F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市南山*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 柜體 輸送控制設備 本實用新型 抽真空模塊 分氣裝置 供氣模塊 電子氣 吹掃 氣瓶 氣體輸送系統 微電子半導體 易燃易爆氣體 使用者操作 吹掃管路 大型系統 工藝鋼瓶 工藝輸出 人機交互 用氣設備 觸摸屏 高純度 使用點 閥門 裝載 自動化 媒介 體內 安全 外部 科研 生產 | ||
1.一種電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,包括柜體,設置于所述柜體內的氣瓶、分氣裝置,所述分氣裝置包括吹掃模塊、供氣模塊、以及抽真空模塊,其中,所述供氣模塊分別與所述氣瓶、吹掃模塊、抽真空模塊、以及外部用氣設備連接。
2.根據權利要求1所述的電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,還包括設置于所述柜體內部的控制器,所述控制器分別與所述吹掃模塊、供氣模塊、以及抽真空模塊連接。
3.根據權利要求2所述的電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,還包括設置于所述柜體內部的電磁閥,所述控制器通過所述電磁閥與所述吹掃模塊、供氣模塊、以及抽真空模塊連接。
4.根據權利要求3所述的電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,所述供氣模塊包括:限流開關EFS、過濾器F2-L、低壓手動隔膜閥LPHL、壓力傳感器DPGL、低壓氣動隔膜閥LPVL、單向閥CV3、壓力傳感器VPG、高壓氣動隔膜閥HPVL、高壓氣動隔膜閥HPVR、調壓閥REGL、高壓氣動隔膜閥HPIL、高壓氣動隔膜閥HPIR、過濾器F1-R、高壓氣動隔膜閥PGIR、以及壓力傳感器SPGR;其中,
所述限流開關EFS與所述過濾器F2-L、低壓手動隔膜閥LPHL連接,所述低壓手動隔膜閥LPHL還與所述壓力傳感器DPGL、低壓氣動隔膜閥LPVL、調壓閥REGL連接,所述低壓氣動隔膜閥LPVL還與所述單向閥CV3連接,所述單向閥CV3還與壓力傳感器VPG、高壓氣動隔膜閥HPVL、高壓氣動隔膜閥HPVR連接,所述高壓氣動隔膜閥HPVR連接還與所述高壓氣動隔膜閥HPIR、所述過濾器F1-R連接,所述高壓氣動隔膜閥HPIR還與所述調壓閥REGL、高壓氣動隔膜閥HPIL連接,所述過濾器F1-R還與所述高壓氣動隔膜閥PGIR、壓力傳感器SPGR連接,所述壓力傳感器DPGL、所述壓力傳感器VPG、所述壓力傳感器SPGR還與所述控制器連接。
5.根據權利要求4所述的電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,所述吹掃模塊包括:所述低壓氣動隔膜閥LPVL、所述單向閥CV3、所述壓力傳感器VPG、所述高壓氣動隔膜閥HPVL、所述高壓氣動隔膜閥HPVR、所述高壓氣動隔膜閥HPIR、所述過濾器F1-R、所述壓力傳感器SPGR、所述高壓氣動隔膜閥PGIR、以及高壓氣動隔膜閥HPCV、低壓氣動隔膜閥LPBV、高壓氣動隔膜閥HPDV、真空發生器VG、單向閥CV1、單向閥CV2、高壓氣動隔膜閥PGIL;其中,
所述高壓氣動隔膜閥PGIR還與所述單向閥CV1連接,所述單向閥CV1還與所述單向閥CV2、所述高壓氣動隔膜閥HPCV、所述低壓氣動隔膜閥LPBV連接,所述單向閥CV2還與所述高壓氣動隔膜閥PGIL連接,所述高壓氣動隔膜閥PGIL還與所述過濾器F1-R連接,所述真空發生器VG與所述高壓氣動隔膜閥HPVL、所述高壓氣動隔膜閥HPVR連接,所述高壓氣動隔膜閥HPDV與所述真空發生器VG、所述高壓氣動隔膜閥HPCV連接。
6.根據權利要求5所述的電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,所述抽真空模塊包括所述低壓氣動隔膜閥LPVL、所述單向閥CV3、所述壓力傳感器VPG、所述高壓氣動隔膜閥HPVL、所述高壓氣動隔膜閥HPVR、所述高壓氣動隔膜閥HPIR、所述過濾器F1-R、所述壓力傳感器SPGR、所述高壓氣動隔膜閥PGIR、所述真空發生器VG、所述高壓氣動隔膜閥HPDV。
7.根據權利要求3所述的電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,所述柜體上設置有過流開關、觸摸屏、指示燈、以及繼電器,其中,
所述過流開關與所述控制器連接,所述指示燈與所述繼電器連接,所述控制器通過所述繼電器與所述電磁閥連接。
8.根據權利要求1-7任意一項所述的電子氣毒腐類及可燃類氣體全自動安全輸送控制設備,其特征在于,所述柜體上還設置有急停開關。
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