[實用新型]一種高密度等離子體機臺射頻帶連接結構有效
| 申請號： | 201820119366.4 | 申請日： | 2018-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN207765399U | 公開（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發明（設計）人： | 黃彪;劉濤;張波 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201200 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 射頻帶 絕緣層 高密度等離子體 機臺 電弧 本實用新型 圓弧形連接 金屬部件 連接結構 電源供應端 圓弧形頂端 絕緣處理 兩端設置 人員傷害 漏電 非圓弧 抗電弧 連接端 連接孔 耐高溫 射頻源 形連接 觸發 加裝 裸露 防火 火災 | ||
1.一種高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：包括至少一個的
射頻帶，所述射頻帶兩端設置圓弧形連接端，在所述圓弧形連接端上設置有連接孔，在所述射頻帶非圓弧形連接端的部分設置絕緣層；
電源供應端，連接所述射頻帶一端；
頂部射頻源連接端，連接所述射頻帶。
2.根據權利要求1所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述射頻帶為條狀射頻帶。
3.根據權利要求2所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述絕緣層為橡膠材質。
4.根據權利要求3所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述絕緣層為絕緣橡膠材質。
5.根據權利要求4所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述電源供應端設置電源供應端螺紋桿。
6.根據權利要求5所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述電源供應端螺紋桿穿過所述連接孔再螺帽旋緊，將所述電源供應端和射頻帶連接。
7.根據權利要求6所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述頂部射頻源連接端設置頂部射頻源連接端螺紋桿。
8.根據權利要求7所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述頂部射頻源連接端螺紋桿穿過所述連接孔再螺帽旋緊，將所述頂部射頻源連接端和射頻帶連接。
9.根據權利要求8所述的高密度等離子體機臺射頻帶連接結構，其特征在于：所述射頻帶、電源供應端和頂部射頻源連接端設置為三個。
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