[實用新型]一種穩定型固晶機有效
| 申請號: | 201820115968.2 | 申請日: | 2018-01-23 |
| 公開(公告)號: | CN207765418U | 公開(公告)日: | 2018-08-24 |
| 發明(設計)人: | 黃志軍 | 申請(專利權)人: | 河源創基電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 東莞市永橋知識產權代理事務所(普通合伙) 44400 | 代理人: | 何新華 |
| 地址: | 517300 廣東省河源市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 料道 底板 固定架 固晶機 芯片盤 支架 芯片定位機構 本實用新型 攝像頭 定位機構 靜電 穩定型 芯片 傳動方向 傳送方向 底板連接 定位動作 上頂機構 使用壽命 收卷機構 送料機構 真空吸頭 轉移機構 等離子 輸出端 限位塊 風機 固晶 料帶 壓料 垂直 加工 | ||
1.一種穩定型固晶機,其特征在于,包括底板(10),所述底板(10)的一側依次設有料帶收卷機構(20)、料道(30)和送料機構(40),所述底板(10)的另一側依次設有芯片定位機構(50)和轉移支架(60),所述轉移支架(60)上設有芯片轉移機構(70);
所述料道(30)通過料道定位機構(31)與底板(10)連接,所述料道定位機構(31)的傳動方向與所述料道(30)的傳送方向垂直,所述料道(30)上設有壓料限位塊(32);
所述芯片定位機構(50)的輸出端固定有芯片盤固定架(51),所述芯片盤固定架(51)的一側固定有等離子風機(52),所述芯片盤固定架(51)的下方設有上頂機構(80);
所述轉移支架(60)上還設有第一攝像頭(61)和第二攝像頭(62),所述第一攝像頭(61)位于料道(30)的上方,所述第二攝像頭(62)位于所述上頂機構(80)的上方。
2.根據權利要求1所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述料道定位機構(31)為定位絲桿結構。
3.根據權利要求1所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述送料機構(40)包括前進驅動結構(41),所述前進驅動結構(41)的輸出端固定有定位部(42)。
4.根據權利要求1所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述芯片定位機構(50)包括兩個垂直設置的定位絲桿結構。
5.根據權利要求1所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述芯片轉移機構(70)包括升降驅動結構(71),所述升降驅動結構(71)的輸出端固定有旋轉驅動電機(72),所述旋轉驅動電機(72)的輸出端固定有固晶擺臂(73),所述固晶擺臂(73)的一端固定有真空吸頭(74)。
6.根據權利要求1所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述上頂機構(80)包括上頂架(81),所述上頂架(81)固定有水平傳動的上頂電機(82)和豎直導向的頂針支座(83),所述上頂電機(82)的輸出端固定有凸輪(84),所述頂針支座(83)內活動連接有頂出結構(85),所述頂出結構(85)的底部與所述凸輪(84)匹配。
7.根據權利要求6所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述頂出結構(85)為微型氣泵。
8.根據權利要求6所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述頂出結構(85)為頂針。
9.根據權利要求7或8所述的一種穩定型固晶機,其特征在于,所述頂出結構(85)的最大升降高度為h,0.05mm≤h≤0.1mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





