[實用新型]LED芯片有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820110796.X | 申請日: | 2018-01-23 |
| 公開(公告)號: | CN208478365U | 公開(公告)日: | 2019-02-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陳立人;陸騏峰 | 申請(專利權)人: | 聚燦光電科技(宿遷)有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/06 | 分類號: | H01L33/06;H01L33/16;H01L33/00 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 沈曉敏 |
| 地址: | 223800 江蘇省宿遷市經(jīng)濟*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 襯底 晶面 本實用新型 外延結構 量子局限效應 電子器件 工藝條件 藍寶石 量子線 偏角 掩膜 制備 發(fā)光 生長 配合 | ||
本實用新型揭示了一種LED芯片,LED芯片包括襯底及位于襯底上的外延結構,襯底為藍寶石襯底,襯底的晶面沿C晶面偏向M晶面或R晶面而形成偏角。本實用新型的LED芯片使用特制的襯底,配合相應的工藝條件,在不需要另外制備掩膜的基礎上,生長出類量子線外延結構,進一步降低態(tài)密度,增強量子局限效應,從而提高發(fā)光或電子器件的性能。
技術領域
本實用新型涉及半導體發(fā)光器件技術領域,尤其涉及一種LED芯片。
背景技術
LED照明燈是利用第四代綠色光源LED做成的一種照明燈具。LED被稱為第四代照明光源或綠色光源,具有節(jié)能、環(huán)保、壽命長、體積小等特點,可以廣泛應用于各種指示、顯示、裝飾、背光源、普通照明和城市夜景等領域。
現(xiàn)有光電器件的主流技術多為量子阱結構。
Arakawa教授等于1986年在理論上預言,如果相鄰量子線或者量子點之間沒有強的耦合,則由它們制造的激光器在閾值電流、調(diào)制動力學和譜線特性等方面將優(yōu)于量子阱激光器。Sakaki教授于1987年預言,在量子線中,由于維度限制大大減小了彈性散射概率,就能得到非常高的電子遷移率,因此能用于制作高速電子器件。
量子線結構材料的研究不僅是半導體物理學、材料學研究的基本問題,而且其優(yōu)異的光學和電學特性可直接被利用制備成性能優(yōu)良的器件產(chǎn)品,因此國內(nèi)外都投入很大的資金和技術力量來從事這一領域的研究。
目前,如何提高器件產(chǎn)品的性能是研究重點。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種LED芯片。
為實現(xiàn)上述實用新型目的之一,本實用新型一實施方式提供一種LED芯片,包括襯底及位于所述襯底上的外延結構,所述襯底為藍寶石襯底,所述襯底的晶面沿C晶面偏向M晶面或R晶面而形成偏角,偏角范圍為0.7°~1.5°,所述外延結構包括量子線發(fā)光層,所述量子線發(fā)光層根據(jù)所述偏角生長而形成褶皺狀。
作為本實用新型一實施方式的進一步改進,所述偏角范圍為0.8°~1°。
作為本實用新型一實施方式的進一步改進,所述量子線發(fā)光層的發(fā)光區(qū)于所述外延結構疊加方向的高度不小于0.5nm。
作為本實用新型一實施方式的進一步改進,所述發(fā)光區(qū)的原子層數(shù)量不小于10個。
作為本實用新型一實施方式的進一步改進,所述外延結構由下向上依次包括緩沖層、高溫AlGaN層、N型AlGaN層、N型AlGaN表面處理層、量子線發(fā)光層、量子勢壘層、電子阻擋層、P型披覆層、P型接觸層,其中,所述量子線發(fā)光層為AlGaN/GaN多重類量子線發(fā)光層。
作為本實用新型一實施方式的進一步改進,所述外延結構由下向上依次包括低缺陷GaN層、InGaN應力調(diào)試層、N型AlGaN/GaN層、N型InGaN 表面處理層、量子線發(fā)光層、量子勢壘層、電子阻擋層、P型披覆層、P型接觸層,其中,所述量子線發(fā)光層為GaN/InGaN多重類量子線發(fā)光層。
與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果在于:本實用新型一實施方式的LED芯片使用特制的襯底,配合相應的工藝條件,在不需要另外制備掩膜的基礎上,生長出類量子線外延結構,進一步降低態(tài)密度,增強量子局限效應,從而提高發(fā)光或電子器件的性能。
附圖說明
圖1是本實用新型一實施方式的LED芯片示意圖;
圖2是本實用新型一實施方式的量子線發(fā)光層區(qū)域示意圖;
圖3是本實用新型另一實施方式的LED芯片示意圖;
圖4是本實用新型一實施方式的LED芯片的制造方法步驟圖。
具體實施方式
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